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J-GLOBAL ID：200903001885168720

青紫光感光性光重合性組成物及びレジスト画像形成材料

Inventor： 利光 恵理子
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004240343
Publication number (International publication number)：2006058597
Application date： Aug. 20, 2004
Publication date： Mar. 02, 2006
Summary：

【課題】 レジスト画像形成において、高解像高感度であり、特には青紫光感光性の光重合性組成物層を直接描画法により露光し、現像処理してレジスト画像を形成するにおいて、ファインなレジスト画像を形成し得る青紫光感光性光重合性組成物及びレジスト画像形成材料を提供する。【解決手段】 450〜800nmに吸収極大を有する着色剤を0.001〜0.01重量%含有することを特徴とする青紫光感光性光重合性組成物。450〜800nmに吸収極大を有する着色剤は、トリフェニルメタン系染料であるのが好ましく、又、該青紫光感光性光重合性組成物は360〜450nmに吸収極大を有するのが好ましい。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

450〜800nmに吸収極大を有する着色剤を0.001〜0.01重量%含有することを特徴とする青紫光感光性光重合性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F7/004 505 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  H01L21/30 502R

F-Term (19)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC43 ,  2H025BC65 ,  2H025CA28 ,  2H025CA41 ,  2H025CC13 ,  2H025CC20 ,  2H025DA19 ,  2H025FA10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材及びそのレジスト画像形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-294622   Applicant：三菱化学株式会社
• 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性エレメント
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-347112   Applicant：ニチゴー・モートン株式会社
• 特開平4-118211号公報