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J-GLOBAL ID：200903001912883010

固体撮像素子の製造方法

Inventor：
石松 忠

About 石松 忠


Applicant, Patent owner：
凸版印刷株式会社

About 凸版印刷株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999261926
Publication number (International publication number)：2001085657
Application date： Sep. 16, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：
【要約】【課題】固体撮像素子上のマイクロレンズ同士の間隔が0.2〜0.3μmである高開口率のマイクロレンズを、マイクロレンズ同士の融着が無く、安定して製造することができる方法を提供すること。【解決手段】マイクロレンズの材料となる感光性樹脂を塗布、露光、現像した後に、感光性樹脂外周のエッジ部分の仮硬化のために遠紫外域を含む紫外光を照射し、続いて加熱して溶解・変形・硬化させて形成する。また、用いる遠紫外域を含む紫外光の波長が200〜365nm、その照射量がレンズ材料の膜厚1μm当たり、波長254nmにおいて50〜100mJ/cm2であることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
マイクロレンズを有する固体撮像素子の製造方法において、各素子の上層にマイクロレンズを形成する際、材料となる感光性樹脂を塗布、露光、現像した後に、遠紫外域を含む紫外光を照射し、続いて加熱して溶解・変形・硬化させて形成することを特徴とする、固体撮像素子の製造方法。
IPC (4)：
H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335
FI (5)：
H01L 27/14 D ,  G02B 3/00 A ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 Z
F-Term (19)：
2H048BB02 ,  2H048BB47 ,  4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA02 ,  4M118CA40 ,  4M118FA06 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  5C024AA01 ,  5C024CA31 ,  5C024EA04 ,  5C024FA01 ,  5C024FA11 ,  5C024FA18 ,  5C024GA11
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (3)
  • 特開平4-012568
  • 特開平4-044266
  • 固体撮像装置の製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-256024   Applicant：松下電子工業株式会社

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