ガラス基板分断方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996105511
Publication number (International publication number)：1997286628
Application date： Apr. 25, 1996
Publication date： Nov. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】製造コストの低減【解決手段】順次下記(1)〜(4)からなるガラス基板分断方法。(1)ステージ17上にスペーサ19を介してガラス基板20を配する。その際にスペーサ19のラインにそってガラス基板20にスクライブライン21を設定する。(2)真空引きをおこなって真空吸着させ、ステージ17上にガラス基板20を固定する。 (3)カッター装置23を走査して、カッター24をスクライブライン21の直上に配し、さらにエアーシリンダー27でカッター24を押圧しながら、スクライブライン21にそって切り込みを入れる。 (4)一対のローラー26をその対称面がスクライブライン21上に配されるように載置して、一対のローラー26をスクライブライン21にそって押圧しながら移動させることによってガラス基板20を複数に分断する。

Claim (excerpt)：

ステージ上にライン状のスペーサを介して単一のガラス基板もしくは貼り合わてなる一対のガラス基板を配するとともに、スペーサのラインにそってガラス基板にスクライブラインを設定し、次いでステージ上に真空吸着もしくは固定治具によりガラス基板を固定し、その後にカッターでガラス基板のスクライブラインにそって切り込みを入れ、しかる後に一対のローラーをその対称面がスクライブライン上に配されるように載置して、この一対のローラーをスクライブラインにそって押圧しながら移動させることによってガラス基板を複数に分断することを特徴とするガラス基板分断方法。

IPC (3)：

C03B 33/02 , C03B 33/033 , C03B 33/07

FI (3)：

C03B 33/02 , C03B 33/033 , C03B 33/07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

スクライブ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-283353 Applicant：富士ゼロックス株式会社

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