超純水製造装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993150263
Publication number (International publication number)：1995047364
Application date： Jun. 22, 1993
Publication date： Feb. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】廃水の発生を減少させ、しかも生じた廃水は、そのまま環境中へ放流できる超純水製造装置を提供する。【構成】超純水製造装置を、少なくとも膜除濁装置8を有する前処理装置4と、逆浸透膜装置14と電気式脱イオン水製造装置18とを有する一次純水製造装置12と、二次純水製造装置22とで構成する。

Claim (excerpt)：

少なくとも膜除濁装置を有し供給される原水を処理して前処理水とする前処理装置と、少なくとも逆浸透膜装置と電気式脱イオン水製造装置とを有し前記前処理水を処理して一次純水とする一次純水製造装置と、前記一次純水を更に精製処理して超純水とする二次純水製造装置とからなることを特徴とする超純水製造装置。

IPC (5)：

C02F 1/44 , B01D 61/04 , C02F 1/42 , C02F 1/469 , C02F 9/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

滅菌精製水の製造方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-122953 Applicant：戸田建設株式会社
超純水供給装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-329796 Applicant：オルガノ株式会社
特開平4-250882

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