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J-GLOBAL ID：200903002127883813

微粒子の分級方法および成膜方法

Inventor： 柴田 尚存 ,  齋藤 康行 ,  石倉 淳理
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (2)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005015524
Publication number (International publication number)：2006198577
Application date： Jan. 24, 2005
Publication date： Aug. 03, 2006
Summary：

【課題】 目的の粒径をもった微粒子を効率よく分級する分級方法を提供し、該分級方法を用いた、成膜装置を提供することを目的とする。【解決手段】 搬送ガス中に分散させた微粒子を搬送管内に流しながら該微粒子を分級する分級方法であって、前記搬送ガス中に分散させた前記微粒子の進行方向に対して、前記搬送管内に、各々の孔の位置が一致しないように、各々が多数の孔を備える多孔フィルタを複数配置すると共に、前記多孔フィルタを加熱する、ことを特徴とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

搬送ガス中に分散させた微粒子を搬送管内に流しながら該微粒子を分級する分級方法であって、前記搬送ガス中に分散させた前記微粒子の進行方向に対して、前記搬送管内に、各々の孔の位置が一致しないように、各々が多数の孔を備える多孔フィルタを複数配置すると共に、前記多孔フィルタを加熱する、ことを特徴とする微粒子の分級方法。

IPC (3)：

B07B 7/06 ,  B07B 9/00 ,  C23C 14/22

FI (3)：

B07B7/06 ,  B07B9/00 Z ,  C23C14/22 Z

F-Term (14)：

4D021AA02 ,  4D021AB01 ,  4D021CA01 ,  4D021DB01 ,  4D021EA10 ,  4D021FA18 ,  4D021GA03 ,  4D021GA10 ,  4D021GA20 ,  4D021GB03 ,  4D021HA10 ,  4K029CA00 ,  4K029DA05 ,  4K029DB10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 超微粒子の成膜,成形方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-174048   Applicant：工業技術院長