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J-GLOBAL ID：200903002171375647

複合クラスタ及びその製造方法、並びにその製造装置

Inventor： 賈 明洋 ,  福田 明 ,  桧山 浩国
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001107414
Publication number (International publication number)：2002305163
Application date： Apr. 05, 2001
Publication date： Oct. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】 基板表面に設けた配線形成用の微細凹部の内部に、純度の高い配線金属を確実に埋込んで欠陥の無い健全な配線構造を得るのに使用して最適な複合クラスタ及びその製造方法、並びにその製造装置を提供する。【解決手段】 金属クラスタ28の周囲をガス分子30またはガスクラスタが取り巻いた構造をもち、金属24を蒸発させ凝縮させて金属クラスタ28を作製し、この金属クラスタ28の外側にガス分子30またはガスクラスタをファンデルワールス力で付着させて製造される。

Claim (excerpt)：

金属クラスタの周囲をガス分子またはガスクラスタが取り巻いた構造をもつ複合クラスタ。

IPC (3)：

H01L 21/285 ,  H01L 21/285 301 ,  C23C 14/24

FI (3)：

H01L 21/285 P ,  H01L 21/285 301 Z ,  C23C 14/24 Z

F-Term (33)：

4K029AA06 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA05 ,  4K029BA07 ,  4K029BA08 ,  4K029BA09 ,  4K029BA10 ,  4K029BA12 ,  4K029BA13 ,  4K029BA17 ,  4K029BA18 ,  4K029BC03 ,  4K029BD01 ,  4K029CA01 ,  4K029DB03 ,  4M104BB01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB36 ,  4M104DD06 ,  4M104DD33 ,  4M104DD34 ,  4M104HH14