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J-GLOBAL ID：200903002226895289

圧力センサ

Inventor： 菅原 淳
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (4)： 須山 佐一 ,  川原 行雄 ,  山下 聡 ,  須山 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007162623
Publication number (International publication number)：2009002740
Application date： Jun. 20, 2007
Publication date： Jan. 08, 2009
Summary：

【課題】耐久性を向上した圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサが,第1の弾性基板と,前記第1の弾性基板の主面に設けられた複数の第1の突起部と,前記第1の弾性基板の前記主面側に配置され,複数の第1の電極と,複数の第1の穴部と,を有する第1のフレキシブル基板と,前記第1のフレキシブル基板と対向して配置され,複数の第2の電極と,複数の第2の穴部と,を有する第2のフレキシブル基板と,前記第2のフレキシブル基板の前記第1のフレキシブル基板と対向する面とは反対の面側に配置される第2の弾性基板と,を具備し,前記第1の突起部は,前記複数の第1の穴部をそれぞれ貫通し,前記第2のフレキシブル基板と近接または接触する先端部分を有し,前記第2の突起部は,前記複数の第2の穴部をそれぞれ貫通し,前記第1のフレキシブル基板と近接または接触する先端部分を有する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

第1の弾性基板と, 前記第1の弾性基板の主面に設けられた複数の第1の突起部と, 前記第1の弾性基板の前記主面側に配置され,複数の第1の電極と,複数の第1の穴部と,を有する第1のフレキシブル基板と, 前記第1のフレキシブル基板と対向して配置され,複数の第2の電極と,複数の第2の穴部と,を有する第2のフレキシブル基板と, 前記第2のフレキシブル基板の前記第1のフレキシブル基板と対向する面とは反対の面側に配置される第2の弾性基板と,を具備し, 前記第1の突起部は,前記複数の第1の穴部をそれぞれ貫通し,前記第2のフレキシブル基板と近接または接触する先端部分を有し, 前記第2の突起部は,前記複数の第2の穴部をそれぞれ貫通し,前記第1のフレキシブル基板と近接または接触する先端部分を有する, ことを特徴とする圧力センサ。

IPC (1)：

G01L 5/00

FI (1)：

G01L5/00 101Z

F-Term (5)：

2F051AA01 ,  2F051AA10 ,  2F051AA17 ,  2F051AA18 ,  2F051AB06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 触覚センサー
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-067531   Applicant：株式会社東芝