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J-GLOBAL ID：200903002291325430

表面検査装置及び表面検査方法

Inventor：
廣瀬 修

About 廣瀬 修


Applicant, Patent owner：
住友化学工業株式会社

About 住友化学工業株式会社


Agent (1)： 鈴木 崇生 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002141446
Publication number (International publication number)：2003329428
Application date： May. 16, 2002
Publication date： Nov. 19, 2003
Summary：
【要約】【課題】 繰り返し明暗パターンを有する照明手段を用いて被検体の表面欠陥を検出するにあたり、照明手段と被検体の距離を最適に設定することのできる表面検査装置を提供すること。【解決手段】 所定の繰り返し明暗パターンを被検体に対して照明する照明装置2と、明暗パターンが照明された被検体1を撮像するラインセンサー3と、ラインセンサー3により撮像された原画像の明暗パターンのゆがみと明部と暗部の明るさの変化の度合いを解析することにより、被検体1の表面欠陥を検出する画像解析手段とを備えた表面検査装置であって、表面欠陥をモデル化する欠陥モデル設定手段と、照明手段2と被検体1の距離データを設定する距離データ設定手段と、欠陥モデルを用いて、設定された距離データに対応する表面欠陥の検出感度を演算する感度演算手段とを備え、検出感度が最大になるように照明距離を設定可能に構成した。
Claim (excerpt)：
所定の繰り返し明暗パターンを被検体に対して照明する照明手段と、前記明暗パターンが照明された前記被検体を撮像する撮像手段と、前記撮像手段により撮像された原画像の前記明暗パターンのゆがみと明部と暗部の明るさの変化の度合いを解析することにより、前記被検体の表面欠陥を検出する画像解析手段とを備えた表面検査装置であって、前記表面欠陥をモデル化する欠陥モデル設定手段と、前記照明手段と前記被検体との距離データを設定する距離データ設定手段と、前記欠陥モデルを用いて、設定された距離データに対応する前記表面欠陥の検出感度を演算する感度演算手段とを備え、前記検出感度が最大になるように前記照明手段の前記被検体に対する距離を設定可能に構成したことを特徴とする表面検査装置。
F-Term (15)：
2F065AA49 ,  2F065AA54 ,  2F065BB01 ,  2F065BB05 ,  2F065CC02 ,  2F065CC11 ,  2F065FF04 ,  2F065FF61 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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