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J-GLOBAL ID：200903024510420901

表面検査装置及び表面検査方法

Inventor：
秦 清治

About 秦 清治

, 
石井 明

About 石井 明

, 
廣瀬 修

About 廣瀬 修


Applicant, Patent owner：
住友化学工業株式会社

About 住友化学工業株式会社


Agent (1)： 鈴木 崇生 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999192267
Publication number (International publication number)：2001021332
Application date： Jul. 06, 1999
Publication date： Jan. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】検査面が平滑な被検体において、被検体に許容され得る曲面を表面欠陥として誤検出することなく、表面欠陥を簡便且つ確実に検出することのできる表面検査装置及び表面検査方法を提供すること。【解決手段】 微細チェッカーパターンを被検体に対して照明する照明装置2と、前記微細チェッカーパターンを被検体1の表面反射を利用して撮像するカメラ3と、カメラ3により撮像された原画像を解析する画像解析装置4とを備え、画像解析装置4は、前記原画像中のチェッカーパターンのゆがみとチェッカーパターンの明部と暗部の明るさの変化の度合いを解析することにより、被検体1の表面欠陥を検出する。
Claim (excerpt)：
微細チェッカーパターンを被検体に対して照明する照明手段と、前記微細チェッカーパターンが照明された前記被検体を撮像する撮像手段と、この撮像手段により撮像された原画像を解析する画像解析手段とを備えた表面検査装置において、前記画像解析手段は、前記原画像中の微細チェッカーパターンのゆがみと明部と暗部の明るさの変化の度合いを解析することにより、前記被検体の表面欠陥を検出するように構成されていることを特徴とする表面検査装置。
F-Term (24)：
2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB22 ,  2F065BB28 ,  2F065CC02 ,  2F065CC21 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065GG18 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ32 ,  2F065SS13 ,  2F065UU01 ,  2F065UU08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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