薄板基板の移送装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石井暁夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994134289
Publication number (International publication number)：1996008586
Application date： Jun. 16, 1994
Publication date： Jan. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】作業テーブル12の上面における薄板基板1を、当該薄板基板1のうち割れたものを前記作業テーブルから除去しながら、搬送台15等に移送することを自動的に行う。【構成】作業テーブル12の左右両側に、受取り移送体13,14を作業テーブルとその側方の搬送台15等との間を往復動するように配設し、一方の受取り移送体に二つのフィンガー13a,13bを、他方の受取り移送体に一つのフィンガー14aを設け、更に、前記両受取り移送体の間に、光を一方の受取り移送体側から他方の受取り移送体に向かって発射するようにした光式の割れ検出センサー16,17を設け、更に、前記作業テーブルの上方には、下面に多孔板19を張設して成る真空吸引ボックス18を、前記作業テーブルとその側方との間を往復動するように配設する。

Claim (excerpt)：

上面に薄板基板を載せた状態で上下動する作業テーブルの左右両側に、受取り移送体を、当該両受取り移送体が前記作業テーブルとその側方における搬送台等との間を往復動するように配設して成る移送装置において、前記両受取り移送体のうちいずれか一方の受取り移送体に、前記薄板基板に対する少なくとも二つのフィンガーを、他方の受取り移送体に、前記薄板基板に対する一つのフィンガーを各々設け、更に、前記両受取り移送体の間に、光を一方の受取り移送体側から他方の受取り移送体に向かって発射するようにした光式の割れ検出センサーを設ける一方、前記作業テーブルの上方には、下面に多孔板を張設して成る真空吸引ボックスを、当該真空吸引ボックスが前記作業テーブルとその側方との間を往復動するように配設したことを特徴とする薄板基板の移送装置。

IPC (6)：

H05K 13/02 , B23P 21/00 305 , B65G 25/06 , B65G 49/07 , H01L 21/027 , H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

ウェハ異常検知装置及びウェハ検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-009303 Applicant：株式会社日立製作所, 日立那珂エレクトロニクス株式会社
半導体製造装置の破損ウェーハ検知方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-062597 Applicant：国際電気株式会社

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