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J-GLOBAL ID：200903002450715849

半導体記憶装置

Inventor： 松岡 秀行 ,  木村 紳一郎 ,  山中 俊明
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998213722
Publication number (International publication number)：2000049301
Application date： Jul. 29, 1998
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】キャパシタ高さの増大に伴うプロセスの困難を緩和し、同時にキャパシタパタンを位相シフトリソグラフィに好適なレイアウトとする。【解決手段】ビット線プラグを2つのプラグがつながった構造とし、下部プラグをスロット状にすることによって、ビット線がつながる拡散層を横に引きだし、その引きだし部に対して上部プラグを接続することで、ビット線コンタクトをずらし、キャパシタパタンのレイアウトの周期性を良好なものとした。

Claim (excerpt)：

半導体基体主面に、電荷を蓄えるキャパシタと情報を読みだすスイッチングトランジスタからなるメモリセルが複数個配置されたメモリセルアレー部と、上記メモリセルアレー部の周辺に複数のMISFETで構成された周辺回路が配置された半導体記憶装置において、上記メモリセルのスイッチングトランジスタの拡散層の1つがデータ線につながっており、上記拡散層とデータ線とをつなぐ伝導体が、複数の導電体の積み重ね構造になっていることを特徴とする半導体記憶装置。

IPC (2)：

H01L 27/108 ,  H01L 21/8242

F-Term (31)：

5F083AD24 ,  5F083AD48 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA56 ,  5F083KA05 ,  5F083LA21 ,  5F083MA02 ,  5F083MA06 ,  5F083MA17 ,  5F083MA18 ,  5F083MA19 ,  5F083MA20 ,  5F083PR01 ,  5F083PR10 ,  5F083PR29 ,  5F083PR40 ,  5F083PR43 ,  5F083PR44 ,  5F083PR45 ,  5F083PR46 ,  5F083PR53 ,  5F083PR54 ,  5F083PR55 ,  5F083PR56 ,  5F083ZA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 半導体記憶装置及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-344996   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開平3-270168
  
• ダイナミツクRAM
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-287099   Applicant：ソニー株式会社
• 特開平3-270168