赤外線光源及び赤外線光源を用いたガス濃度検出器

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐藤成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997101234
Publication number (International publication number)：1998294165
Application date： Apr. 18, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：

【要約】【課題】高価な赤外線フィルタを用いることなく、放射される赤外線に対して必要とする波長を選択的に取り出す波長選択性を有する赤外線光源を提供する。【解決手段】シリコン基板1と、シリコン基板1にマイクロブリッジにより形成されるフィラメント2と、フィラメント2に電流を流すための電極4とを備えた赤外線光源において、放射させようとする赤外線の波長をλとした際、λ/4の整数倍の膜厚を持つ屈折率の異なる薄膜を積層した多層反射膜6をフィラメント2下方に設けるようにした。

Claim (excerpt)：

シリコン基板と、該シリコン基板にマイクロブリッジにより形成されるフィラメントと、該フィラメントに電流を流すための電極とを備えた赤外線光源において、放射させようとする赤外線の波長をλとした際、λ/4の整数倍の膜厚を持つ屈折率の異なる薄膜を積層した多層反射膜を前記フィラメント下方に設けるようにしたことを特徴とする赤外線光源。

IPC (4)：

H05B 3/10 , G01N 21/01 , G01N 21/35 , H01K 7/00

FI (4)：

H05B 3/10 B , G01N 21/01 D , G01N 21/35 Z , H01K 7/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

電気的に調節可能な熱放射源
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-157971 Applicant：インストルメンタリウムオイ, ヴァイサラオイ
特開昭62-149181
特開平2-186327

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