Pat

J-GLOBAL ID：200903002768536706

電気的特性測定用装置および電気的特性測定方法

Inventor： 本多 一行 ,  福田 照久
Applicant, Patent owner： 宮崎沖電気株式会社 ,  沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998334319
Publication number (International publication number)：2000164648
Application date： Nov. 25, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】 不活性ガス雰囲気中で安定な測定を、スピーディにかつ安価に行うことができる電気的特性測定装置で、よりコンパクトな装置および測定方法。【解決手段】 半導体素子19の測定端子と探針13との接触点を少なくとも囲む空間領域の雰囲気を不活性ガス雰囲気にするための不活性ガス噴出部21を具えている。

Claim (excerpt)：

半導体素子の測定端子に探針を接触させて該半導体素子の電気的特性を測定する電気的特性測定用装置において、前記測定端子および前記探針間の接触点を少なくとも囲む空間領域の雰囲気を不活性ガス雰囲気にするための、不活性ガス噴出部を具えていることを特徴とする電気的特性測定用装置。

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26

FI (2)：

H01L 21/66 B ,  G01R 31/26 J

F-Term (12)：

2G003AA02 ,  2G003AC08 ,  2G003AG03 ,  2G003AH00 ,  2G003AH05 ,  4M106AA02 ,  4M106AB01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA70 ,  4M106DD22 ,  4M106DD30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-106050
  
• 半導体装置の検査装置及び半導体装置の検査方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-060557   Applicant：株式会社日立製作所, 日立北海セミコンダクタ株式会社