ポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：角田衛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004021795
Publication number (International publication number)：2005215319
Application date： Jan. 29, 2004
Publication date： Aug. 11, 2005
Summary：

【課題】プロジェクター等の小型の高精細ポリシリコンTFT式LCD製造用に適した、寸法安定性に優れるポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板の提供。【解決手段】F濃度がモル百分率表示で3.0〜3.8mol%であり、かつアルカリ金属酸化物を実質的に含有しない、石英ガラスからなることを特徴とするポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板。または、Cl濃度がモル百分率表示で3.0〜4.2mol%であり、かつアルカリ金属酸化物を実質的に含有しない石英ガラスからなることを特徴とするポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

F濃度がモル百分率表示で2.8〜3.8mol%であり、かつアルカリ金属酸化物を実質的に含有しない石英ガラスからなることを特徴とするポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板。

IPC (4)：

G02F1/1333 , C03C3/06 , C03C3/076 , H01L29/786

FI (4)：

G02F1/1333 500 , C03C3/06 , C03C3/076 , H01L29/78 626C

F-Term (77)：

2H090JB02 , 2H090JB12 , 2H090JD15 , 2H090JD18 , 2H090LA04 , 4G062AA04 , 4G062BB01 , 4G062BB02 , 4G062CC07 , 4G062CC10 , 4G062DA07 , 4G062DA08 , 4G062DB01 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FD04 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062GE03 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ06 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM12 , 4G062NN30 , 4G062NN31 , 4G062NN34 , 5F110AA30 , 5F110BB01 , 5F110DD03 , 5F110DD06 , 5F110DD24 , 5F110GG02 , 5F110GG13

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

ポリシリコンTFT式LCD用石英ガラス基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-327149 Applicant：旭硝子株式会社

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