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J-GLOBAL ID：200903002916703935

エシェルスペクトロメータの波長較正のためのアセンブリおよび方法

Inventor：
フローレック,シュテファン

About フローレック,シュテファン

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ベッカー-ロス,ヘルムート

About ベッカー-ロス,ヘルムート

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ハイトマン,ウーベ

About ハイトマン,ウーベ


Applicant, Patent owner：
ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・アンゲバンター・オプティック,オプトエレクトローニック,クバンテンエレクトローニック・ウント・スペクトロスコピー・アインゲトラーゲナー・フェアアイン

About ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・アンゲバンター・オプティック,オプトエレクトローニック,クバンテンエレクトローニック・ウント・スペクトロスコピー・アインゲトラーゲナー・フェアアイン

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ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・デア・スペクトロヒェミー・ウント・アンゲバンテン・スペクトロスコピー・アインゲトラーゲナー・フェアアイン

About ゲゼルシャフト・ツア・フェルデルング・デア・スペクトロヒェミー・ウント・アンゲバンテン・スペクトロスコピー・アインゲトラーゲナー・フェアアイン


Agent (6)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  野田 久登 ,  酒井 將行
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003566507
Publication number (International publication number)：2005517172
Application date： Jan. 28, 2003
Publication date： Jun. 09, 2005
Summary：
スペクトロメータアセンブリ(10)は、連続スペクトルを有する光源(11)と、スペクトル部分が選択可能な比較的小さな線分散を有するスペクトルを生じるためのプレモノクロメータとを含み、このようなスペクトル部分のスペクトル帯域幅は、エシェルスペクトルにおけるこのような次数のスペクトル範囲の帯域幅よりも狭いまたは等しく、選択されたスペクトル間隔の中心波長は、最大ブレーズ効率で、波長較正のための手段を有するエシェルスペクトロメータ(4)、プレモノクロメータ(2)での入口スリット(21)、中間スリット(3)を有する中間スリットアセンブリ(50)および波長スペクトルの検出のためのスペクトルの出口面における空間解像光検出器(5)で測定可能である。このアセンブリは、中間スリット(3)の幅が中間スリットの位置でのプレモノクロメータによって生成された入口スリットの単色画像よりも広く、かつ検出器上の連続スペクトルを有する光源の光を参照位置へ較正するようにされたプレモノクロメータを較正するための手段が与えられる。
Claim (excerpt)：
スペクトロメータアセンブリ(10)であって、 (a) 連続波長スペクトルを有する光源(11)と、 (b) スペクトル間隔が選択可能な比較的小さい線形分散を有するスペクトルを生じるためのプレモノクロメータ(2)とを含み、このようなスペクトル間隔のスペクトル帯域幅は、エシェルスペクトルにおけるこのような次数の自由なスペクトル域の帯域幅よりも狭いまたは同じであり、選択されたスペクトル部分の中心波長は最大ブレーズ効率で測定することができ、前記スペクトロメータアセンブリはさらに、 (c) 波長較正のための手段を有するエシェルスペクトロメータ(4)と、 (d) プレモノクロメータ(2)での入口スリット(21)と、 (e) 中間スリット(3)を有する中間スリットアセンブリ(50)と、 (f) 波長スペクトルを検出するためのスペクトロメータの出口面における空間解像光検出器(5)とを含み、 (g) 中間スリット(3)の幅は、中間スリットの位置でプレモノクロメータによって生成された入口スリットの単色画像よりも広く、 (h) 連続スペクトルを有しかつ検出器に焦点を当てられた光源の光を参照位置に較正するようにされたプレモノクロメータを較正するための手段が与えられることを特徴とする、スペクトロメータアセンブリ(10)。 。
IPC (2)：
G01J3/18 ,  G01J3/14
FI (2)：
G01J3/18 ,  G01J3/14
F-Term (9)：
2G020CB04 ,  2G020CB31 ,  2G020CC08 ,  2G020CC13 ,  2G020CC46 ,  2G020CC55 ,  2G020CC63 ,  2G020CD04 ,  2G020CD39
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)
  • 特開平2-061527
  • 特開昭61-134635
  • フーリエ変換型分光器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-089360   Applicant：横河電機株式会社
Cited by examiner (6)
  • 特開平2-061527
  • 特開平2-061527
  • 特開昭61-134635
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Article cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 光学的測定ハンドブック, 19810725, 初版, p.340〜351
Cited by examiner (3)
  • 光学的測定ハンドブック, 19810725, 初版, p.340〜351
  • 光学的測定ハンドブック, 19810725, 初版, p.340〜351
  • 光学的測定ハンドブック, 19810725, 初版, p.340〜351

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