電子ディスプレイを制御するための電子回路素子を作製する好適な方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山本秀策
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001512654
Publication number (International publication number)：2003505889
Application date： Jul. 21, 2000
Publication date： Feb. 12, 2003
Summary：

【要約】電子ディスプレイを制御するのに有用な薄膜トランジスタ構造を作製するシステムおよび方法。全加色法を用いて、薄膜トランジスタを作製する。上記全加色法は、印刷技術、ソフトリソグラフィー法および材料堆積方法を含む。上記薄膜トランジスタを、上記構造の下部ゲートまたは上部ゲートに堆積することが可能である。上記堆積方法は、上記トランジスタ構造を上記電子ディスプレイデバイスからほとんど完璧に絶縁させる可能性を有し、これにより、上記トランジスタ構造と上記電子ディスプレイデバイスとの間の有害な相互作用を最小限にするか、または排除する。

Claim (excerpt)：

電子ディスプレイのためのアドレシングデバイスを基板上に作製する方法であって、(i)ゲート構造をスクリーン印刷する工程と、(ii)誘電体材料および半導体をインクジェット印刷する工程と、(iii)ソース構造およびドレイン構造の粗形状をスクリーン印刷する工程と、(iv)ソフトリソグラフィーを用いて、該ソース構造および該ドレイン構造の高解像度形状を印刷する工程と、を包含する、方法。

IPC (6)：

H01L 21/336 , G02F 1/167 , H01L 21/288 , H01L 21/316 , H01L 29/786 , H01L 51/00

FI (11)：

G02F 1/167 , H01L 21/288 Z , H01L 21/316 B , H01L 29/78 627 C , H01L 29/28 , H01L 29/78 616 K , H01L 29/78 617 T , H01L 29/78 617 V , H01L 29/78 618 B , H01L 29/78 618 A , H01L 29/78 619 A

F-Term (55)：

4M104BB06 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB36 , 4M104CC05 , 4M104DD51 , 4M104DD62 , 4M104DD78 , 4M104GG09 , 5F058AC02 , 5F058AF06 , 5F058AF10 , 5F058AG01 , 5F058AG09 , 5F058AH02 , 5F058AH03 , 5F058BC05 , 5F058BF47 , 5F058BF80 , 5F058BH01 , 5F058BH17 , 5F058BJ02 , 5F058BJ03 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC05 , 5F110CC07 , 5F110EE01 , 5F110EE43 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF01 , 5F110FF27 , 5F110FF28 , 5F110FF29 , 5F110GG02 , 5F110GG04 , 5F110GG05 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG44 , 5F110HK01 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110NN02 , 5F110NN22 , 5F110NN27 , 5F110NN33 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN72 , 5F110NN73 , 5F110QQ06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特開平2-259625
特開平2-139972
微細パターンの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-044060 Applicant：株式会社ジーティシー

Cited by examiner (5)

特開平2-259625
特開平2-259625
特開平2-139972

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