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J-GLOBAL ID:200903002992411056
縞解析における縞位相決定方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
川野 宏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000084183
Publication number (International publication number):2001272214
Application date: Mar. 24, 2000
Publication date: Oct. 05, 2001
Summary:
【要約】【目的】 縞位置(x、y)に応じたP(x、y)バケット法を用いることで、位相走査法を用いて得た縞情報を解析するに際し、所定時点における縞位相を簡易かつ高精度に決定する。【構成】 被検体の形状を表す縞情報を位相走査法を用いて得る際に、該縞の位相走査の量が、空間上の縞位置(x、y)に応じて異なり、かつ全ての縞位置(x、y)において1位相以上とされている場合に、該位相走査における所定時点での位相を決定する縞位相決定方法において、1位相走査期間内に縞位置(x、y)に応じたP(x、y)個の時系列縞情報を得ておき、該得られたP(x、y)個の時系列縞情報に基づき各縞位置(x、y)毎にP(x、y)個の光強度Ii(x、y)を求め、該求めたP(x、y)個の光強度Ii(x、y)に基づき所定の条件式を用いて前記所定時点での位相を各縞位置(x、y)毎に求める。
Claim (excerpt):
被検体の形状を表す縞情報を位相走査法を用いて得る際に、該縞の位相走査の量が、空間上の縞位置(x、y)に応じて異なり、かつ全ての縞位置(x、y)において1位相以上とされている場合に、該位相走査における所定時点での位相を決定する縞位相決定方法において、1位相走査期間内に縞位置(x、y)に応じたP(x、y)個の時系列縞情報を得ておき、該得られたP(x、y)個の時系列縞情報に基づき各縞位置(x、y)毎にP(x、y)個の光強度Ii(x、y)を求め、該求めたP(x、y)個の光強度Ii(x、y)に基づき下記条件式を用いて前記所定時点での位相を各縞位置(x、y)毎に求めることを特徴とする縞解析における縞位相決定方法。【数1】
F-Term (14):
2F065AA54
, 2F065FF52
, 2F065FF61
, 2F065GG04
, 2F065GG25
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065LL02
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065LL47
, 2F065QQ16
, 2F065QQ25
Patent cited by the Patent: