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J-GLOBAL ID：200903003039998887
マイクロレンズ・マイクロレンズアレイ及びその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993038204
Publication number (International publication number)：1994250002
Application date： Feb. 26, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【目的】光利用効率の良いマイクロレンズおよびマイクロレンズアレイとその製造方法を提供する。【構成】透明な基板1上に熱変形性の感光性材料による均一な厚さの膜3を形成し、形成されるマイクロレンズアレイにおける各レンズとその配列に応じたパタ-ンに従って膜3を光パタ-ニングし、光パタ-ニングされた膜3に光照射を行ったのち、熱変形温度以上に加熱し、感光性材料の熱変形性及び表面張力により、滑らかな凸面形状3Aをもった感光性材料のアレイ配列を形成し、アレイ配列を形成された面に対してドライエッチングを行い、凸面形状3Aのアレイ配列を基板1に彫り写すことにより、所望の屈折面形状及びそのアレイ配列を基板1に形成してマイクロレンズアレイ1Aとする。
Claim (excerpt)：
透明な基板上に熱変形性の感光性材料による均一な厚さの膜を形成し、形成されるマイクロレンズアレイにおける各レンズとその配列に応じたパタ-ンに従って上記膜を光パタ-ニングし、光パターニングされた上記膜の全面に光照射を行って、膜内の線形分子を切断し、光照射された上記膜を熱変形温度に加熱し、感光性材料の熱変形性と表面張力より、滑らかな凸面形状を持った感光性材料のアレイ配列を形成し、上記アレイ配列を形成された面に対してドライエッチングを行い、上記凸面形状のアレイ配列を上記基板に彫り写すことにより、所望の屈折率面形状及びそのアレイ配列状態を上記基板に形成することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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