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J-GLOBAL ID：200903003051288372

パーフロロカーボン類測定装置

Inventor：
川辺 哲也

About 川辺 哲也

, 
山本 明弘

About 山本 明弘


Applicant, Patent owner：
理研計器株式会社

About 理研計器株式会社


Agent (1)： 木村 勝彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999187866
Publication number (International publication number)：2001013128
Application date： Jul. 01, 1999
Publication date： Jan. 19, 2001
Summary：
【要約】【課題】 フッ素系洗浄剤の有無に関わり無く、管理濃度程度のパーフロロカーボン類を高い精度で測定すること。【解決手段】 第1の反応炉1と、水スクラバー手段4と、水分透過チューブ4と、第2の反応炉9と、酸性ガス検出手段である検知紙式ガス検出装置12とを直列に接続するともに、第1の反応炉1の加熱温度をフッ素系洗浄剤の熱分解が可能で、かつパーフロロカーボン類を可及的に変性させない温度に、また第2の反応炉9の加熱温度をパーフロロカーボン類が熱分解する温度に設定し、第1の反応炉1でフッ素系洗浄剤だけを酸性ガス類に熱分解して水スクラバー手段により除去し、水スクラバー手段4を通過したパーフロロカーボン類の過剰な水分を除去してから第2の反応炉9で酸性ガスに確実に熱分解する。
Claim (excerpt)：
第1の反応炉と、水スクラバー手段と、水分透過管路と、第2の反応炉と、酸性ガス検出手段とを直列に接続するともに、第1の反応炉の加熱温度をフッ素系洗浄剤の熱分解が可能で、かつパーフロロカーボン類を可及的に変性させない第1の温度に、また第2の反応炉の加熱温度を前記パーフロロカーボン類が熱分解する第2の温度に設定してなるパーフロロカーボン類測定装置。
IPC (2)：
G01N 31/00 ,  G01N 1/28
FI (4)：
G01N 31/00 Y ,  G01N 31/00 Q ,  G01N 31/00 V ,  G01N 1/28 K
F-Term (11)：
2G042AA01 ,  2G042BA01 ,  2G042BA10 ,  2G042BD02 ,  2G042CA02 ,  2G042CB03 ,  2G042DA05 ,  2G042FA12 ,  2G042FB05 ,  2G042FC01 ,  2G042GA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (2)

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