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J-GLOBAL ID：200903003123189412

投影型エンコーダ

Inventor： 伊藤 善規 ,  金森 定治 ,  見田村 宗雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ
Agent (1)： 横沢 志郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002187464
Publication number (International publication number)：2004028862
Application date： Jun. 27, 2002
Publication date： Jan. 29, 2004
Summary：

【課題】3枚格子理論による投影型エンコーダにおいて、検出信号のS/N比などを改善して精度の高いエンコード信号を得ること。【解決手段】投影型リニアエンコーダ1は、光透過格子3および格子状のホトダイオード4A、4Bが形成されたシリコン基板からなる移動板5と、これに対峙している反射格子6が形成された反射格子板7を有している。反射格子板7は透明基板71の表面に反射格子6が形成された構造となっており、当該透明基板71の表面711および裏面712には反射防止膜72、73が形成されている。反射格子板7による不要光成分の反射を防止あるいは抑制して、検出信号のS/N比等を改善できる。【選択図】 図4

Claim (excerpt)：

光源と、一定のピッチで配列された所定形状の反射格子と、一定のピッチで配列された所定形状の光透過格子と、前記光源から出射され前記光透過格子を透過して前記反射格子で反射された反射光像を受光する格子状に配列された受光素子とを有し、各受光素子から得られる検出信号に基づき、少なくとも、前記反射格子および前記光透過格子の相対速度を検出する投影型エンコーダであって、 前記反射格子が形成されている反射格子板は、基板と、この基板の表面に形成された前記反射格子を規定している格子状の反射膜あるいは凹凸部とを備えており、 前記基板の表面および/または裏面は、表面処理が施されて、反射防止面あるいは光吸収面となっていることを特徴とする投影型エンコーダ。

IPC (1)：

G01D5/36

FI (2)：

G01D5/36 C ,  G01D5/36 T

F-Term (19)：

2F103BA10 ,  2F103BA29 ,  2F103CA02 ,  2F103CA03 ,  2F103DA01 ,  2F103DA12 ,  2F103EA05 ,  2F103EA15 ,  2F103EA19 ,  2F103EA20 ,  2F103EB06 ,  2F103EB07 ,  2F103EB12 ,  2F103EB16 ,  2F103EB31 ,  2F103EB37 ,  2F103EC17 ,  2F103FA01 ,  2F103FA11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭60-161524
  
• 変位センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-325095   Applicant：キヤノン株式会社
• 集積光電センサおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-343657   Applicant：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
• 特開昭60-161524