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J-GLOBAL ID：200903003171713883

プラズマ装置

Inventor： 太田 俊洋 ,  齋場 孝司
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (2)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006074871
Publication number (International publication number)：2007250445
Application date： Mar. 17, 2006
Publication date： Sep. 27, 2007
Summary：

【課題】電源出力を小さく抑えつつ、加熱処理を行い得る領域を拡大することができるプラズマ装置を提供すること。【解決手段】プラズマ装置1は、それらの間にプラズマ生成空間21を形成する1対の長尺な板状部材23、24と、各板状部材23、24にそれぞれ電気的に接続された1対の第1の電極25、26、およびこれらよりワーク100側の1対の第2の電極27、28と、第1の電極25、26間に電圧を印加する第1の電源29と、第2の電極27、28間に電圧を印加する第2の電源30と、プラズマ生成空間21に所定のガスを供給するガス供給手段4とを備え、プラズマ生成空間21にガスを供給しつつ、第1の電極25、26間に電圧を印加することにより、プラズマ生成空間21内のガスを活性化してプラズマを生成するとともに、第2の電極27、28間に電圧を印加することにより、生成したプラズマの温度を目的の温度に調整して、ワーク100に向けて放出する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

プラズマ放出部とワークとを相対的に移動しつつ前記プラズマ放出部より放出されたプラズマにより前記ワークの被処理面を加熱処理するプラズマ装置であって、 前記プラズマ放出部は、 誘電体材料で構成され、前記ワークの前記プラズマ放出部に対する移動方向と直交しかつ前記被処理面の法線方向と直交する方向に沿って互いに平行に配置され、それらの間にプラズマ生成空間を形成する1対の長尺な板状部材と、 前記1対の板状部材にそれぞれ電気的に接続された1対の第1の電極と、該第1の電極間に電圧を印加する第1の電源とを備える第1の通電手段と、 前記1対の板状部材の前記第1の電極より前記ワーク側にそれぞれ電気的に接続された1対の第2の電極と、該第2の電極間に電圧を印加する第2の電源とを備える第2の通電手段と、 前記プラズマ生成空間に所定のガスを供給するガス供給手段とを有し、 前記プラズマ生成空間に前記ガスを供給しつつ、前記第1の通電手段により前記1対の板状部材間に電圧を印加することにより、前記プラズマ生成空間内の前記ガスを活性化してプラズマを生成するとともに、前記第2の通電手段により前記1対の板状部材間に電圧を印加することにより、生成した前記プラズマの温度を目的の温度に調整し、目的の温度に調整された前記プラズマを前記ワークに向けて放出するよう構成されていることを特徴とするプラズマ装置。

IPC (2)：

H05H 1/24 ,  H01J 37/32

FI (2)：

H05H1/24 ,  H01J37/32

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• マイクロ波プラズマ発生装置及び方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-302994   Applicant：三菱重工業株式会社