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J-GLOBAL ID：200903055727326124

マイクロ波プラズマ発生装置及び方法

Inventor：
池田 哲哉

About 池田 哲哉


Applicant, Patent owner：
三菱重工業株式会社

About 三菱重工業株式会社


Agent (1)： 藤田 考晴 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998302994
Publication number (International publication number)：2000133494
Application date： Oct. 23, 1998
Publication date： May. 12, 2000
Summary：
【要約】【課題】 プラズマを安定に効率よく発生させることができるマイクロ波プラズマ発生装置およびマイクロ波プラズマ発生方法を提供すること。【解決手段】 外管4aと内管4bとを備えた2重管構造の放電管4と、放電管4が設けられた同軸型マイクロ波キャビティー3aとを備えたマイクロ波プラズマ発生装置において、外管4aと内管4bとの隙間部の断面積が一定であることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
外管と内管とを備えた2重管構造の放電管と、該放電管が設けられた同軸型マイクロ波キャビティーとを備えたマイクロ波プラズマ発生装置において、前記外管と内管との隙間部の断面積が一定であることを特徴とするマイクロ波プラズマ発生装置。
IPC (2)：
H05H 1/30 ,  B01J 19/12
FI (2)：
H05H 1/30 ,  B01J 19/12 A
F-Term (10)：
4G075AA43 ,  4G075BA01 ,  4G075CA26 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EA01 ,  4G075EB31 ,  4G075EB41 ,  4G075EC01 ,  4G075EC06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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