Pat
J-GLOBAL ID：200903003364851370

液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法および有機EL素子の製造方法

Inventor：
小島 健嗣

About 小島 健嗣


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008094728
Publication number (International publication number)：2009251001
Application date： Apr. 01, 2008
Publication date： Oct. 29, 2009
Summary：
【課題】液晶表示装置等のカラーフィルタ、有機EL装置の機能膜等の薄膜の形成において、膜厚の不均一を低減させる。【解決手段】液状体を吐出する複数のノズル52からなるノズル列52aと、マトリクス状に区画された矩形形状の画素領域Fからなる被吐出領域を有する基板Pとを、前記ノズル列52aと略直交する主走査方向に相対移動させながら前記ノズル52から前記液状体を前記被吐出領域Fに吐出させる吐出工程を有し、1つの前記画素領域Fに対する前記吐出工程において、前記ノズル列52aおよび/または前記基板Pを、前記主走査方向と略直交する副走査方向に、少なくとも1回相対移動させ前記ノズル52から前記液状体を吐出することを特徴とする。【選択図】図6
Claim (excerpt)：
液状体を吐出する複数のノズルからなるノズル列と、マトリクス状に区画された矩形形 状の画素領域からなる被吐出領域を有する基板とを、前記ノズル列と略直交する主走査方 向に相対移動させながら前記ノズルから前記液状体を前記被吐出領域に吐出させる吐出工 程を有し、 1つの前記画素領域に対する前記吐出工程において、前記ノズル列および/または前記 基板を、前記主走査方向と略直交する副走査方向に、少なくとも1回相対移動させ前記ノ ズルから前記液状体を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
IPC (4)：
G02B 5/20 ,  B05D 1/26 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50
FI (4)：
G02B5/20 101 ,  B05D1/26 Z ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
F-Term (31)：
2H048BA11 ,  2H048BA55 ,  2H048BA64 ,  2H048BB41 ,  2H048BB42 ,  2H191FA02Y ,  2H191FA14Y ,  2H191FA22X ,  2H191FA22Z ,  2H191FA82Z ,  2H191FA84Z ,  2H191FA85Z ,  2H191FB04 ,  2H191FC10 ,  2H191FC16 ,  2H191FC36 ,  2H191FC37 ,  2H191FD22 ,  2H191LA21 ,  3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG08 ,  3K107GG28 ,  3K107GG36 ,  4D075AC07 ,  4D075AC73 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075DA06 ,  4D075DC24
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM