ピンチプラズマの発生方法および装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：山口巖 (外1名) , 山口巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996346856
Publication number (International publication number)：1998189288
Application date： Dec. 26, 1996
Publication date： Jul. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】電源電圧が低くても確実にピンチプラズマを形成する方法および装置を提供する。【解決手段】真空容器内に電極対1,2を収納し、ガス3を間隙7内に筒形に流すとともに、その筒形の軸方向を上方に向けた状態で間隙7に電圧を印加してピンチプラズマ3Bを発生させる方法において、間隙7内で筒形に流れるガス3に周回状にレーザ光12を照射する。

Claim (excerpt)：

真空容器内に電極対を収納し、ガスを電極対の間隙内に筒形に流すとともに、その筒形の軸方向を電極対の間隙長方向に向けた状態で電極対に電圧を印加してピンチプラズマを発生させる方法において、前記電極対の間隙内で筒形に流れるガスに周回状にレーザ光を照射することを特徴とするピンチプラズマの発生方法。

IPC (3)：

H05H 1/06 , H01L 21/205 , H01L 21/302

FI (3)：

H05H 1/06 , H01L 21/205 , H01L 21/302 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

真空アーク装置及び真空アーク点火方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-245752 Applicant：新日本製鐵株式会社

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