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J-GLOBAL ID：200903003441268488

圧力センサおよびその製造方法

Inventor： 江刺 正喜 ,  芳賀 洋一 ,  勝間田 卓
Applicant, Patent owner： 江刺 正喜
Agent (1)： 桑原 英明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998326599
Publication number (International publication number)：2000035369
Application date： Nov. 17, 1998
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：

【要約】【課題】 圧力センサと光ファイバーとの接続を確実にさせる。【解決手段】 シリコン基板(3)に反射型可動ダイアフラムユニット(2)を形成し、その周囲にスペーサー(24)を兼ねた接着剤層を配し、このスペーサー(24)を光ファイバー(1)のハーフミラー層(11)に接着させ、圧力センサとさせる。

Claim (excerpt)：

円形のSiO2薄膜にて形成されたダイアフラム部の中央に円形のSiO2厚膜のメサ部とAl薄膜によって形成された光反射ミラー部を有し、周縁部にリング状のスペーサー兼接着剤層を有する反射型可動ダイアフラムユニットが、先端にハーフミラー層を有する直径125μm以下の光ファイバー先端に固定、封止されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (3)：

G01L 9/00 ,  G01H 9/00 ,  H01L 29/84

FI (3)：

G01L 9/00 B ,  G01H 9/00 C ,  H01L 29/84 Z