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J-GLOBAL ID:200903003494286771
3次元金属微細構造体の製造方法
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
上島 淳一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006077393
Publication number (International publication number):2007253354
Application date: Mar. 20, 2006
Publication date: Oct. 04, 2007
Summary:
【課題】真空中での処理を行うことを必要とせず、生産効率ならびに加工自由度を向上させた3次元金属微細構造体の製造方法を提供する。また、多数の金属微細構造体を互いに接触しない状態で3次元空間に配列させることを可能にした3次元金属微細構造体の製造方法を提供する。【解決手段】任意の立体形状を備えた3次元金属微細構造体の製造方法において、光を照射することにより電子を放出する電子供与体を光硬化性樹脂に添加した改質樹脂に対して、短パルスレーザー光を照射して2光子吸収微細造形法により3次元微細構造を備えたポリマー構造体を形成する第1の工程と、上記第1の工程により形成されたポリマー構造体に無電解めっきを施して、上記ポリマー構造体の表面に金属膜を形成する第2の工程とを有するようにした。【選択図】図3
Claim (excerpt):
任意の立体形状を備えた3次元金属微細構造体の製造方法において、
光を照射することにより電子を放出する電子供与体を光硬化性樹脂に添加した改質樹脂に対して、短パルスレーザー光を照射して2光子吸収微細造形法により3次元微細構造を備えたポリマー構造体を形成する第1の工程と、
前記第1の工程により形成されたポリマー構造体に無電解めっきを施して、前記ポリマー構造体の表面に金属膜を形成する第2の工程と
を有することを特徴とする3次元金属微細構造体の製造方法。
IPC (5):
B29C 67/00
, B81C 5/00
, B82B 3/00
, C08F 38/00
, C08F 20/34
FI (5):
B29C67/00
, B81C5/00
, B82B3/00
, C08F38/00
, C08F20/34
F-Term (21):
4F213AA21
, 4F213AA44
, 4F213WA25
, 4F213WA54
, 4F213WA55
, 4F213WB01
, 4F213WL03
, 4F213WL25
, 4F213WL77
, 4F213WL96
, 4J100AL08P
, 4J100AT13P
, 4J100BC65P
, 4J100CA01
, 4J100DA55
, 4J100JA46
, 4K022AA13
, 4K022AA41
, 4K022BA01
, 4K022DA01
, 4K022DB30
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
-
微小構造体の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-217825
Applicant:国立大学法人横浜国立大学
-
光還元力蓄積型フォトレジストを用いる無電解パターンメッキ法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-045710
Applicant:伊藤公紀
-
ポリマー基材の表面を改質するための方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2004-564857
Applicant:スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー
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