インクジェット法による薄膜形成方法、インクジェット装置、有機EL素子の製造方法、有機EL素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：上柳雅誉 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000376294
Publication number (International publication number)：2001341296
Application date： Dec. 11, 2000
Publication date： Dec. 11, 2001
Summary：

【要約】【課題】インクジェット法による薄膜の形成方法において、吐出する液体の溶媒が密度の大きな溶媒である場合でも、基板面内での均一性の高い薄膜が得られるようにする。【解決手段】インクジェットヘッド2の後部に、十分な長さのガスフロー用チューブ5を固定する。このチューブ5から基板1面に向けて常時気体を吹き出しながら、液体の吐出を行う。基板1上に配置された液滴から蒸発した溶媒蒸気は、この液滴が配置された直後に、チューブ5からの気体で吹き飛ばされて除去される。この除去された気体は、これから液滴の配置を行う領域および既に液滴の配置が行われた領域に向かわない。これにより、液滴の配置順に起因する液滴の乾燥速度の差が小さくなる。

Claim (excerpt)：

液体吐出口を基板に対して相対的に移動させながら、液体吐出口から基板上の各位置に向けて、薄膜形成材料と溶媒とを含む液体を吐出することにより、基板上の各位置に順次液滴を配置する工程を有するインクジェット法による薄膜形成方法において、基板上に先に配置されている液滴から蒸発した溶媒蒸気を強制的に基板面内から除去しながら、後の液滴の配置を行うことを特徴とするインクジェット法による薄膜の形成方法。

IPC (7)：

B41J 2/01 , B05B 1/14 , B05C 5/00 101 , B05C 11/06 , B05D 3/04 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (7)：

B05B 1/14 Z , B05C 5/00 101 , B05C 11/06 , B05D 3/04 Z , H05B 33/10 , H05B 33/14 A , B41J 3/04 101 Z

F-Term (40)：

2C056FB01 , 2C056FB08 , 2C056HA44 , 3K007AB02 , 3K007AB18 , 3K007CA01 , 3K007CB01 , 3K007DA01 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 4D075AA01 , 4D075AA43 , 4D075BB57Z , 4D075CA22 , 4D075CA48 , 4D075DA07 , 4D075DB13 , 4D075DC22 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EA23 , 4D075EA33 , 4D075EB11 , 4D075EB56 , 4F033AA14 , 4F033BA03 , 4F033CA07 , 4F033DA05 , 4F033EA01 , 4F033JA07 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041BA21 , 4F041BA57 , 4F042AA07 , 4F042AA28 , 4F042BA27 , 4F042DD39

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

有機EL素子用組成物および有機EL素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-204697 Applicant：セイコーエプソン株式会社
特開平4-338545
特開平3-278958

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