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J-GLOBAL ID：200903003999321342

欠陥検査装置

Inventor：
荻 寛志

About 荻 寛志


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000232704
Publication number (International publication number)：2002048722
Application date： Aug. 01, 2000
Publication date： Feb. 15, 2002
Summary：
【要約】【課題】 パラメータの設定を容易に行うことが可能な欠陥検出装置を提供する。【解決手段】 欠陥検査装置1は、被検査対象物2についての欠陥の有無に関する真の状態を示す真の正解結果を格納する格納部20と、所定のパラメータを有する所定の検査手法を用いることにより、被検査対象物2についての欠陥の有無に関する検査結果を取得する検査結果取得部10と、その検査結果を真の正解結果と比較することにより、所定のパラメータを有する所定の検査手法の正しさに関する評価結果を得る評価部30と、その評価結果に基づいて所定の検査手法における所定のパラメータの値を変更するパラメータ変更部40とを備える。
Claim (excerpt)：
被検査対象物に対する欠陥検査を行う欠陥検査装置であって、前記被検査対象物における各区分領域ごとの欠陥状態を正しく表現したデータとして定義される真の正解結果を格納する格納手段と、所定のパラメータを有する所定の検査手法を用いることにより、前記被検査対象物における前記各区分領域ごとの前記欠陥状態に関する検査結果を取得する検査結果取得手段と、前記検査結果を前記各区分領域ごとに前記真の正解結果と比較することにより、前記所定のパラメータを有する前記所定の検査手法の正しさに関する評価結果を得る評価手段と、前記評価結果に基づいて、前記所定の検査手法における前記所定のパラメータの値を変更する変更手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (4)：
G01N 21/88 ,  G01N 21/956 ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/66
FI (4)：
G01N 21/88 J ,  G01N 21/956 A ,  G06T 1/00 305 A ,  H01L 21/66 J
F-Term (26)：
2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA03 ,  2G051DA07 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB20 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ18 ,  5B057AA03 ,  5B057BA19 ,  5B057CH18 ,  5B057DA03 ,  5B057DA12 ,  5B057DB02 ,  5B057DC33
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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