発熱抵抗体とその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大菅義之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000131945
Publication number (International publication number)：2001322283
Application date： May. 01, 2000
Publication date： Nov. 20, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】経時的に安定して確保できる高い抵抗率を有し抵抗の温度変化率が小さくキャビテーション耐性も良く且つ再現性良く製造できるインクジェットプリンタに好適な発熱抵抗体と、その製造方法を提供する。【解決手段】発熱抵抗体を、Ta、Si、O、Nの4元素から成る非金属的物質で形成する。この場合、SiとTaのモル比が0.35<Si/Ta<0.80、Oが25モル%〜45モル%、Nが5モル%〜25モル%の組成比の発熱抵抗体が、抵抗率が4mΩcm以上、X線回折分析のピーク角度が37.5°以下で抵抗の対温度変化率が0.05%/°C以下と小さく、且つ1億パルス印加耐久試験をクリアする。この抵抗体は成膜後のアニール処理により、所望の高抵抗率を経時的に安定して保持でき、成分元素としてHを導入したTa-Si-O-N-H系の5元素系発熱抵抗体とすることにより、高抵抗率を備えた発熱抵抗体を再現性良く製造可能となる。

Claim (excerpt)：

組成の成分元素に少なくともTaとSiとOとNとを含むことを特徴とする発熱抵抗体。

IPC (3)：

B41J 2/16 , B41J 2/05 , H01C 7/00

FI (5)：

H01C 7/00 F , H01C 7/00 G , H01C 7/00 D , B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 B

F-Term (18)：

2C057AF51 , 2C057AF65 , 2C057AF93 , 2C057AG46 , 2C057AG50 , 2C057AP02 , 2C057AP14 , 2C057AP52 , 2C057AP61 , 2C057AP90 , 2C057BA03 , 2C057BA13 , 5E033AA03 , 5E033AA05 , 5E033AA06 , 5E033BB02 , 5E033BD01 , 5E033BH01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

インクジェット記録ヘッド用基体、該基体の製造方法、前記基体を有するインクジェット記録ヘッド及び該ヘッドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-226317 Applicant：キヤノン株式会社
発熱印字装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-054206 Applicant：株式会社東芝
インクジェット記録ヘッド用基体、インクジェット記録ヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェット記録ヘッドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-207928 Applicant：キヤノン株式会社

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