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J-GLOBAL ID:200903004107611852
ウエハ芯出し装置及び方法並びにプログラム
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002055009
Publication number (International publication number):2003254738
Application date: Feb. 28, 2002
Publication date: Sep. 10, 2003
Summary:
【要約】【課題】ウエハを規定位置に位置決めすることが可能なウエハ芯出し装置を提供すること。【解決手段】ウエハをウエハ受け渡し位置に搬送するウエハ搬送部(5)と、前記ウエハ搬送部の搬送方向中心軸に対して非対称に配置され前記ウエハの複数のエッジ座標データを検出する複数のセンサ(8,9)と、前記ウエハ搬送部において前記複数のセンサにより得られた複数のエッジ座標データのうち前記ウエハに形成された位置合わせ形状部を含まない3点のエッジ座標データに基づき前記ウエハの中心を求め、この求められたウエハ中心と前記受け渡し位置の中心とのズレ量を求める演算部(11)と、この演算部で求められたズレ量に基づいて前記ウエハ受け渡し位置中心に前記ウエハの中心を合わせるために前記ウエハ搬送部をXY方向に移動させる移動手段(12)と、を具備する。
Claim (excerpt):
ウエハの芯出しを行なうウエハ芯出し装置において、前記ウエハをウエハ受け渡し位置に搬送するウエハ搬送部と、前記ウエハ搬送部の搬送方向中心軸に対して非対称に配置され前記ウエハの複数のエッジ座標データを検出する複数のセンサと、前記ウエハ搬送部において前記複数のセンサにより得られた複数のエッジ座標データのうち前記ウエハに形成された位置合わせ形状部を含まない3点のエッジ座標データに基づき前記ウエハの中心を求め、この求められたウエハ中心と前記受け渡し位置の中心とのズレ量を求める演算部と、この演算部で求められたズレ量に基づいて前記ウエハ受け渡し位置中心に前記ウエハの中心を合わせるために前記ウエハ搬送部をXY方向に移動させる移動手段と、を具備することを特徴とするウエハ芯出し装置。
IPC (2):
FI (2):
G01B 21/00 D
, H01L 21/68 F
F-Term (37):
2F069AA03
, 2F069AA13
, 2F069AA17
, 2F069BB15
, 2F069CC07
, 2F069DD15
, 2F069GG13
, 2F069GG63
, 2F069MM23
, 2F069MM34
, 2F069NN15
, 2F069NN26
, 2F069PP06
, 2F069PP08
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031GA02
, 5F031GA42
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031HA59
, 5F031JA14
, 5F031JA17
, 5F031JA29
, 5F031JA34
, 5F031JA35
, 5F031JA36
, 5F031JA51
, 5F031KA10
, 5F031KA11
, 5F031KA13
, 5F031KA14
, 5F031LA09
, 5F031PA02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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特開昭64-057104
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特開昭64-057104
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半導体ウェハの位置決め装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-170043
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
-
特開昭64-057104
-
ウェハ位置調整装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-268767
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
-
ウエハー位置およびオリエンテーシヨンフラツト方向検出方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-207567
Applicant:沖電気工業株式会社
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特開昭64-057104
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