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J-GLOBAL ID：200903004107611852

ウエハ芯出し装置及び方法並びにプログラム

Inventor：
木村 桂司

About 木村 桂司

, 
加藤 智生

About 加藤 智生

, 
楡井 辰夫

About 楡井 辰夫


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002055009
Publication number (International publication number)：2003254738
Application date： Feb. 28, 2002
Publication date： Sep. 10, 2003
Summary：
【要約】【課題】ウエハを規定位置に位置決めすることが可能なウエハ芯出し装置を提供すること。【解決手段】ウエハをウエハ受け渡し位置に搬送するウエハ搬送部(5)と、前記ウエハ搬送部の搬送方向中心軸に対して非対称に配置され前記ウエハの複数のエッジ座標データを検出する複数のセンサ(8,9)と、前記ウエハ搬送部において前記複数のセンサにより得られた複数のエッジ座標データのうち前記ウエハに形成された位置合わせ形状部を含まない3点のエッジ座標データに基づき前記ウエハの中心を求め、この求められたウエハ中心と前記受け渡し位置の中心とのズレ量を求める演算部(11)と、この演算部で求められたズレ量に基づいて前記ウエハ受け渡し位置中心に前記ウエハの中心を合わせるために前記ウエハ搬送部をXY方向に移動させる移動手段(12)と、を具備する。
Claim (excerpt)：
ウエハの芯出しを行なうウエハ芯出し装置において、前記ウエハをウエハ受け渡し位置に搬送するウエハ搬送部と、前記ウエハ搬送部の搬送方向中心軸に対して非対称に配置され前記ウエハの複数のエッジ座標データを検出する複数のセンサと、前記ウエハ搬送部において前記複数のセンサにより得られた複数のエッジ座標データのうち前記ウエハに形成された位置合わせ形状部を含まない3点のエッジ座標データに基づき前記ウエハの中心を求め、この求められたウエハ中心と前記受け渡し位置の中心とのズレ量を求める演算部と、この演算部で求められたズレ量に基づいて前記ウエハ受け渡し位置中心に前記ウエハの中心を合わせるために前記ウエハ搬送部をXY方向に移動させる移動手段と、を具備することを特徴とするウエハ芯出し装置。
IPC (2)：
G01B 21/00 ,  H01L 21/68
FI (2)：
G01B 21/00 D ,  H01L 21/68 F
F-Term (37)：
2F069AA03 ,  2F069AA13 ,  2F069AA17 ,  2F069BB15 ,  2F069CC07 ,  2F069DD15 ,  2F069GG13 ,  2F069GG63 ,  2F069MM23 ,  2F069MM34 ,  2F069NN15 ,  2F069NN26 ,  2F069PP06 ,  2F069PP08 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031GA42 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA59 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA29 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031JA51 ,  5F031KA10 ,  5F031KA11 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031LA09 ,  5F031PA02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (7)
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