荷物搬入出用ポートおよび保管装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004092186
Publication number (International publication number)：2005277326
Application date： Mar. 26, 2004
Publication date： Oct. 06, 2005
Summary：

【課題】従来技術による保管装置の荷物搬入出用ポートは、保管棚部に隣接した専用スペースを設けて設置されるため、保管棚部から突出し、ポートの上方および下方には無駄空間が形成される。【解決手段】ストッカ1の側面にポート2を設け、ストッカ1へのFOUP4の搬入出はこのポート2を介して実行する。ポート2の上方および下方にはFOUP収納用棚セグメント33が設けられおり、ポート2は見掛け上、棚セグメント33の1つがポートに置換されただけの様相をなし、ポートとしての突出部が無い。ポート2は内側面シャッタ機構80、外側面シャッタ機構81とFOUPを載置するステージ30より構成される。内側面シャッタ機構80はシート部材11で構成される内側シャッタの開閉動作を司り、外側面シャッタ機構81はシート部材21で構成される外側シャッタの開閉動作を司る。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

半導体デバイス、液晶表示装置などの製造工場に於ける製造プロセスで、製造過程にある基板を一時的に保管するための保管装置に付設される荷物の搬入出用ポートであって、保管装置内部に碁盤目状に設けられた棚空間の一部に設けられ、前記搬入出用ポートの直上と直下空間に前記搬入出用ポートにそれぞれ隣接して、碁盤目状棚が設けられた保管装置。

IPC (3)：

H01L21/68 , B65G1/00 , F24F7/06

FI (3)：

H01L21/68 T , B65G1/00 521D , F24F7/06 C

F-Term (29)：

3F022AA08 , 3F022BB09 , 3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022FF01 , 3F022JJ07 , 3F022KK11 , 3F022KK20 , 3F022MM13 , 3L058BF03 , 5F031CA02 , 5F031DA08 , 5F031DA17 , 5F031FA03 , 5F031FA07 , 5F031FA15 , 5F031GA19 , 5F031GA43 , 5F031GA45 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA58 , 5F031JA06 , 5F031JA14 , 5F031JA22 , 5F031LA13 , 5F031NA02 , 5F031NA09 , 5F031PA02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

半導体ウエハ収納装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-166759 Applicant：三菱電機株式会社

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