膜の剥離方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：宮▲崎▼主税 , 目次誠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006254261
Publication number (International publication number)：2008076630
Application date： Sep. 20, 2006
Publication date： Apr. 03, 2008
Summary：

【課題】アルコキシシランの縮合物を含む感光性組成物を基板上に塗布し、感光性組成物を硬化させて得られた膜を基板から剥離する方法であって、酸やアルカリ、又は有機溶剤等の特殊な液を用いることなく、膜を基板から剥離することを可能とする膜の剥離方法を提供する。【解決手段】アルコキシシランの縮合物(A)と、活性エネルギー線の照射によりアルコキシシランの縮合物を架橋させる物質(B)とを含む感光性組成物1を基板2上に塗布した後に、活性エネルギー線を照射することにより感光性組成物1を硬化させて得られた膜1Cを基板2から剥離する方法であって、80〜100°Cの水中で超音波を膜1Cにあてることにより膜1Cを基板2から剥離する、膜1Cの剥離方法。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

アルコキシシランの縮合物(A)と、活性エネルギー線の照射により前記アルコキシシランの縮合物を架橋させる物質(B)とを含む感光性組成物を基板上に塗布した後に、活性エネルギー線を照射することにより前記感光性組成物を硬化させて得られた膜を前記基板から剥離する方法であって、 80〜100°Cの水中で前記膜に超音波をあてることにより、前記膜を前記基板から剥離することを特徴とする、膜の剥離方法。

IPC (6)：

G03F 7/42 , H01L 21/027 , G03F 7/075 , B08B 3/10 , B08B 3/12 , H01L 21/304

FI (7)：

G03F7/42 , H01L21/30 572B , G03F7/075 521 , B08B3/10 , B08B3/12 A , H01L21/304 642E , H01L21/304 648G

F-Term (33)：

2H025AA16 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BG00 , 2H025CB32 , 2H025CC20 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA47 , 2H096AA25 , 2H096BA01 , 2H096BA09 , 2H096EA02 , 2H096EA05 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096JA04 , 2H096LA03 , 2H096LA30 , 3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201BB02 , 3B201BB82 , 3B201BB83 , 3B201BB87 , 3B201BB92 , 5F046MA01 , 5F046MA07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

感光性樹脂組成物およびこれを用いたパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-296954 Applicant：東レ株式会社

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