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J-GLOBAL ID:200903004390931507

座標測定装置を用いて加工物の座標を測定する方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995130805
Publication number (International publication number):1995324929
Application date: May. 29, 1995
Publication date: Dec. 12, 1995
Summary:
【要約】 (修正有)【目的】 座標測定装置の測定誤差を低減し、そのためこの種の装置の測定精度を向上させる。【構成】 種々の影響量たとえば測定力、加速度、装置の測定容積体における測定キャリッジ2,4の位置にもとづく、CMMの弾性曲げ特性が求められ、これから補正値が算出される。これを用いて機械曲げによる測定誤差が補償できる。補正値は測定領域における測定キャリッジ2,4の位置すなわち走査ヘッドの位置に依存し、そのため種々の位置のために求められて記憶される。この方法は有利に、固定のモデルにもとづいて開発された公知の案内誤差補正法および、機械部材の振動に起因する機械偏差のダイナミック補正法と組み合わせることができる。
Claim (excerpt):
求められた測定値を座標測定装置CMMの弾性曲げ特性を表わす記憶されている補正値を用いて数学的に補正する形式の、座標測定装置(CMM)を用いて加工物の座標を測定する方法において、曲げ特性を表わすパラメータを、測定装置の測定領域において複数個のプローブ(検出走査子)位置に対して求め、これらのパラメータのうちのプローブ(検出走査子)に依存しない成分を求めて補正値の形式で記憶し、前記補正値は、測定キャリッジの位置に依存する、および、少なくとも加工物へ作用する測定力に依存する、CMMの曲げ特性を表わすものであり、該補正値により、加工物の以後の座標測定の際にCMMの測定値に対して補償を行なうことを特徴とする、座標測定装置を用いて加工物の座標を測定する方法。
IPC (2):
G01B 21/20 101 ,  G01B 5/20 101
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
  • 特開昭55-154408
  • 特開昭63-182509
  • 座標測定装置の修正方法及び座標測定装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-003307   Applicant:カール-ツアイス-スチフツング
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Cited by examiner (7)
  • 特開昭55-154408
  • 特開昭63-182509
  • 座標測定装置の修正方法及び座標測定装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平3-003307   Applicant:カール-ツアイス-スチフツング
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