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J-GLOBAL ID：200903004492434621

基板の処理装置

Inventor：
山本 雄一

About 山本 雄一

, 
寺本 聡寛

About 寺本 聡寛

, 
月野木 渉

About 月野木 渉


Applicant, Patent owner：
東京エレクトロン株式会社

About 東京エレクトロン株式会社


Agent (3)： 金本 哲男 ,  亀谷 美明 ,  萩原 康司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008137444
Publication number (International publication number)：2009094460
Application date： May. 27, 2008
Publication date： Apr. 30, 2009
Summary：
【課題】小ロット処理に対応した塗布現像処理装置を提供する。【解決手段】塗布現像処理装置のカセット搬入出部10のカセット載置台12の上方に、2段の空カセット載置台20、21と、カセット移送機構22が設けられる。空カセット載置台20、21は、外部カセット搬送装置Aが上下に通過できるように構成されている。各空カセット載置台20、21は、カセットが載置される4台のカセット移動装置30を有し、載置したカセットを隣のカセット移動装置に移送できる。外部カセット搬送装置Aによりカセット載置台12に搬入され、ウェハWが処理ステーションに搬送された空のカセットは、カセット移送機構22により空カセット載置台に一時的に貯め置かれる。空いたカセット載置台12には次のカセットが搬入される。空カセット載置台の空のカセットは、ウェハ処理が終了する前にカセット載置台12に戻される。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
基板の処理装置であって、 基板を収容するカセットを処理装置の外部との間で搬入出する際に載置するカセット載置部と、 基板を処理する基板処理部と、 前記カセット載置部のカセット内の基板を前記基板処理部に搬送し、なおかつ前記基板処理部で処理の終了した基板を前記カセット載置部のカセットに搬送する基板搬送部と、 基板が基板処理部に搬送されて空になったカセットを一時的に載置する空カセット載置部と、 前記空カセット載置部と前記カセット載置部との間で空のカセットを移送する空カセット移送機構と、を有することを特徴とする、基板の処理装置。
IPC (2)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/027
FI (3)：
H01L21/68 A ,  H01L21/30 562 ,  H01L21/30 502J
F-Term (23)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA14 ,  5F031GA57 ,  5F031HA57 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA07 ,  5F031LA13 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA13 ,  5F031MA26 ,  5F046JA22 ,  5F046LA18
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (3)
  • 基板搬送処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-116571   Applicant：東京エレクトロン株式会社
  • 自動搬送システム
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-091673   Applicant：アシストシンコー株式会社
  • 天井搬送車及びそのシステム
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-356600   Applicant：村田機械株式会社

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