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J-GLOBAL ID:200903004597631090
pH検出装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (3):
小西 富雅
, 中村 知公
, 萩野 幹治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006212413
Publication number (International publication number):2008039523
Application date: Aug. 03, 2006
Publication date: Feb. 21, 2008
Summary:
【課題】コンパクトで検出精度の高いpHセンサを提供する。【解決手段】pH測定部であるイオン感応膜4の左右に、左側電極14と右側電極16から構成される電気伝導度センサ18が配置されている。また、イオン感応膜4の上部には、温度センサ22が配置される。さらに、イオン感応膜4の周囲には、溶液に所定の電位を付与するための参照電極12が配置されている。【選択図】図1
Claim (excerpt):
溶液と当接してpH値を測定するpH測定部と、
前記pH測定部の直上部位の電気伝導度を検出する電気伝導度測定部と、
前記pH測定部近傍の温度を検出する温度測定部とを備え、
測定されたpH値、電気伝導度および温度に基づき、溶液のpH値を検出するpH検出装置であって、
前記pH測定部、前記電気伝導度測定部および前記温度測定部を、同一の半導体基板上に配置させたことを特徴とするpH検出装置。
IPC (2):
G01N 27/414
, G01N 27/416
FI (2):
G01N27/30 301U
, G01N27/46 353Z
Patent cited by the Patent:
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