離散事象制御システムと離散事象制御システムを用いた生産工程シミュレーション方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：工藤実 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001091088
Publication number (International publication number)：2002288277
Application date： Mar. 27, 2001
Publication date： Oct. 04, 2002
Summary：

【要約】【課題】装置の機能毎のオブジェクトによりモデルを形成し、プログラムの構築や修正の際に、機能のみの修正により容易に編集が可能な離散事象モデルによるシミュレーションシステム。【解決手段】シミュレーションに関するデータを入力する入力部11と、前記データに基づきシミュレーションモデルを構築するモデル部12と、前記シミュレーションモデルと前記データとに基づきシミュレーションを行うシミュレーション部13とを具備し、モデル部11は生産ライン上の複数の装置の機能を示す個別オブジェクトと前記複数の装置に共通の処理を示す共通オブジェクトとを形成し、前記複数の装置の内、少なくとも2つが協調して前記共通オブジェクト又は前記個別オブジェクトを実行する事とし、シミュレーション部13は、前記個別オブジェクトと前記共通オブジェクトとを用い、生産工程をシミュレーションする離散事象制御システムを用いる。

Claim (excerpt)：

生産ライン上に配置された複数の装置の各々に固有の機能を示す個別オブジェクトを形成するステップと、前記複数の装置に共通の処理を示す少なくとも一つの共通オブジェクトを形成するステップと、前記個別オブジェクトと前記共通オブジェクトとを用いて、生産工程をシミュレーションするステップと、を具備する、生産工程シミュレーション方法。

IPC (2)：

G06F 17/60 108 , G05B 19/418

FI (2)：

G06F 17/60 108 , G05B 19/418 Z

F-Term (10)：

3C100AA06 , 3C100BB01 , 3C100BB13 , 3C100BB14 , 3C100BB31 , 3C100BB33 , 3C100CC02 , 3C100CC08 , 3C100CC11 , 3C100EE08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特開平4-064164
半導体装置生産における品質管理システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-003313 Applicant：株式会社東芝
複数装置より構成されるインライン工程システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-083403 Applicant：株式会社ニコン

Show all

Cited by examiner (6)

特開平4-064164
半導体装置生産における品質管理システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-003313 Applicant：株式会社東芝
複数装置より構成されるインライン工程システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-083403 Applicant：株式会社ニコン

Show all

Return to Previous Page