半導体装置生産における品質管理システム

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995003313
Publication number (International publication number)：1996195407
Application date： Jan. 12, 1995
Publication date： Jul. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】本発明は、半導体装置を製造するために予め定めた製造装置毎の設定基準値に基づき、各製造装置の設定条件を監視し、不適合であれば稼働を許可せず、設備のメンテナンスを促し、不良品の発生を防止する半導体装置生産における品質管理システムを提供することを目的とする。【構成】本発明は、半導体装置を製造工程に従って所定の加工処理を施す製造装置2a〜2nと、各製造装置2と通信回線3a〜3nを介して各製造装置2の稼働を集中管理するための中央制御装置1と、オペレータによりデータや指示を入力するための端末4とで構成され、各製造装置に設定された条件が予め設定した製造基準に適合していない場合、生産のための稼働を許可しない若しくは停止させ、または、警告し、製造装置の条件の再設定やメンテナンスを促し、不良製品の製造を防止する半導体装置生産における品質管理システムである。

Claim (excerpt)：

予め定めた製造工程に沿って、半導体装置を製造するために種々の部位形成及び加工を施し、稼働するための設定条件と最新の稼働状況とを送信する機能を有する、複数の製造装置と、前記各製造装置に接続され、送出される前記設定条件と最新の稼働状況を伝送する通信回線と、前記半導体装置の構造と前記製造工程に基づき、各製造装置毎に定めた前記設定条件の基準となる製造基準値を予め記憶する基準値記憶装置と、全ての前記製造装置に通信回線を介して接続し、前記基準値記憶装置に記憶される製造基準値と、前記通信回線を経て送出される前記設定条件及び稼働状況とを比較し、一致する若しくは許容範囲に適合する場合には、該当する製造装置に生産のための稼働開始・稼働継続を許可し、一致しない若しくは許容範囲に適合しない場合には、該当する製造装置に生産のための稼働開始を不許可、稼働中ならば停止若しくは、警告のいずれかを行いつつ、前記製造装置の設定条件の再設定やメンテナンスを指示する中央制御装置と、所望のデータ若しくは指示を前記中央制御装置に入力するための入力装置と、を具備することを特徴とする半導体装置生産における品質管理システム。

IPC (4)：

H01L 21/50 , G05B 23/02 302 , G06F 17/60 , H01L 21/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平4-063440
特開昭62-042122
特開平4-145631

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