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J-GLOBAL ID：200903004641540022

歪センサとその製造方法

Inventor： 中尾 恵一 ,  檜森 剛司
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (3)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005003571
Publication number (International publication number)：2006194598
Application date： Jan. 11, 2005
Publication date： Jul. 27, 2006
Summary：

【課題】絶縁層と配線を同一平面に凹凸を抑えて形成することができ、配線の段差等による抵抗体ペーストの印刷性に対する影響を最小限に抑え、感歪抵抗体の特性バラツキをできるだけ少なくできる歪センサ及びその製造方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】基板21と、前記基板21上に複数の電極12を埋め込んだ絶縁層22を有し、前記電極12上に感歪抵抗体23を備え、前記感歪抵抗体23および前記電極の少なくとも一部を覆う保護層25を有することを特徴とする歪センサである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に複数の電極を埋め込んだ絶縁層を有し、前記電極上に感歪抵抗体を備え、前記感歪抵抗体および前記電極の少なくとも一部を覆う保護層を有することを特徴とする歪センサ。

IPC (2)：

G01B 7/16 ,  G01L 1/22

FI (2)：

G01B7/18 J ,  G01L1/22 D

F-Term (13)：

2F049CA01 ,  2F049CA04 ,  2F049CA08 ,  2F049CA09 ,  2F049DA01 ,  2F049DA04 ,  2F063CA09 ,  2F063DA02 ,  2F063EC02 ,  2F063EC05 ,  2F063EC14 ,  2F063EC25 ,  2F063EC26

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 印刷抵抗体の構造
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-213445   Applicant：アルプス電気株式会社