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J-GLOBAL ID：200903004648370998

振幅変調および位相変調を行うための整調可能な薄膜バルク型音響共振器が組み込まれている装置

Inventor：
ユハ エラ

About ユハ エラ


Applicant, Patent owner：
ノキア モービル フォーンズ リミテッド

About ノキア モービル フォーンズ リミテッド


Agent (1)： 朝日奈 宗太 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997269024
Publication number (International publication number)：1998126160
Application date： Oct. 01, 1997
Publication date： May. 15, 1998
Summary：
【要約】【課題】 所望の信号を振幅変調または位相変調するための整調可能なBAW共振器を組み込んだ装置を提供する。【解決手段】 基板と、共振手段と、前記共振手段の第1の面に隣接する第1電極と、前記共振手段の第2の面に隣接する第2電極と、前記第2電極および前記基板間に位置する膜と、1対のエッチング窓と、前記基板の少なくとも一部分を前記膜の少なくとも一部分から隔てるエアギャップとからなり、前記エアギャップが、前記エッチング窓を通して前記基板の一部分を除去することにより形成され、前記共振手段が、前記の第1および第2の電極間に印加された電圧によって当該電極間に生じた電界に応答して共振し、前記エアギャップが、前記共振手段により生成された振動を前記基板から絶縁するバルク型音波共振器から絶縁する。
Claim (excerpt)：
基板と、共振手段と、前記共振手段の第1の面に隣接する第1電極と、前記共振手段の第2の面に隣接する第2電極と、前記第2電極および前記基板間に位置する膜と、1対のエッチング窓と、前記基板の少なくとも一部分を前記膜の少なくとも一部分から隔てるエアギャップとからなり、前記エアギャップが、前記エッチング窓を通して前記基板の一部分を除去することにより形成され、前記共振手段が、前記の第1および第2の電極間に印加された電圧によって当該電極間に生じた電界に応答して共振し、前記エアギャップが、前記共振手段により生成された振動を前記基板から絶縁するバルク型音波共振器。
IPC (4)：
H03C 3/10 ,  H03C 1/08 ,  H03H 9/17 ,  H04R 17/00 330
FI (4)：
H03C 3/10 ,  H03C 1/08 ,  H03H 9/17 F ,  H04R 17/00 330 K
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
  • 特開平1-246911
  • 特開平1-098311
  • 特開昭60-103709
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