Pat

J-GLOBAL ID：200903004679596420

X線発生装置及びこれを有するX線露光装置及びX線の発生方法

Inventor： 近藤 洋行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999144947
Publication number (International publication number)：2000340394
Application date： May. 25, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 安定してX線を発生させる装置を得る。【解決手段】 本発明のX線発生装置は、パルスレーザー光を減圧された容器中の標的に集光することにより、該標的を構成する材料をプラズマ化し、該プラズマから輻射されるX線を利用するX線発生装置において、前記材料を前記容器中に送出する標的材料送出部を送出方向の軸周りに軸回転させる回転機構を具備する。

Claim (excerpt)：

パルスレーザー光を減圧された容器中の標的に集光することにより、該標的を構成する材料をプラズマ化し、該プラズマから輻射されるX線を利用するX線発生装置において、前記材料を前記容器中に送出する標的材料送出部を送出方向の軸周りに軸回転させる回転機構を具備することを特徴とするX線発生装置。

F-Term (6)：

4C092AA06 ,  4C092AA14 ,  4C092AB21 ,  4C092BE06 ,  4C092CD10 ,  4C092CE18

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• X線発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-131262   Applicant：株式会社ニコン

Cited by examiner (1)

• X線発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-131262   Applicant：株式会社ニコン