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J-GLOBAL ID：200903004721170803

物体の形状検査装置

Inventor： 大平 尚 ,  内藤 修治
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 櫻井 俊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994100687
Publication number (International publication number)：1995280532
Application date： Apr. 14, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】〔目的〕 簡易・安価な構成によりスリット状の光切断像内の光量密度分布を均一化すると共に表面の凸部の形状の検査を可能とする物体の形状検査装置を提供する。〔構成〕 ロッドレンズ(1b)又はシリンドリカルレンズを通すことにより線状に変形させながら拡大したスリット状のレーザ光を被検査物体(T) に照射する照射装置(1) と、被検査物体に照射されその表面の形状に従って変形されたスリット状のレーザ光を撮影する撮影装置(2) とを備える。スリット状のレーザ光よりもほぼ10nm〜40nm長い波長の透過中心波長とほぼ10nm〜100nm の半値幅とを有するバンドパス・フィルタ(4) が、上記スリット状のレーザ光の入射角がこのスリットの中心部分についてはほぼ0 o 、両端物体についてはほぼ30o 以下となるようにして照射装置(1) と撮影装置(2) との間に設置されている。好適な一実施例によれば、撮影装置(2) はその受光レンズ(2a)の主平面と被検査物体(T) の照射領域との距離がこの受光レンズの有効径の10倍を越えない位置に設置されると共にこの受光レンズの焦点から撮像面側にずらしてアパチァが設置されている。

Claim (excerpt)：

ロッドレンズ又はシリンドリカルレンズを通すことにより線状に変形させながら拡大したスリット状のレーザ光を検査対象の物体に照射するレーザ光照射装置と、物体に照射されその表面の形状に従って変形されたスリット状のレーザ光を撮影する撮影装置とを備えた物体の形状検査装置において、前記スリット状のレーザ光よりもほぼ 10nm 〜40nm 長い波長の透過中心波長とほぼ 10nm 〜100nm の半値幅とを有するバンドパス・フィルタを、前記スリット状のレーザ光の入射角がこのスリットの中央部分についてはほぼ0 o 、両端部分についてはほぼ30o 以下となるようにして前記照射装置と前記撮影装置との間に設置したことを特徴とする物体の形状検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 画像処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-312044   Applicant：油田信一, 神鋼電機株式会社
• 3次元形状検出方法および装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-336599   Applicant：株式会社日立製作所