チャックテーブル

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：秋元輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995339890
Publication number (International publication number)：1997162269
Application date： Dec. 05, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】ウェーハ等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠体からの吸着体の浮き上がりを防止する。【解決手段】枠体と吸着体とから構成されるウェーハ等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠体と吸着体との接触部に少なくとも押え部、被押え部を形成する。吸着体の外周面と枠体の内周面をテーパ状に形成し、枠体によって吸着体を押える。複数の枠体と吸着体とが同心円状に配設され、被加工物の径に対応して適宜被加工物を吸引保持するチャックテーブルにおいて、枠体と吸着体とが交互に押える構成にする。

Claim (excerpt)：

枠体と吸着体とから構成されるウェーハ等を吸引保持するチャックテーブルにおいて、前記枠体と吸着体との接触部に少なくとも押え部、被押え部が形成されているチャックテーブル。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B23Q 3/08 , B28D 7/04

FI (3)：

H01L 21/68 P , B23Q 3/08 A , B28D 7/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開平1-281835
真空吸着装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-315078 Applicant：京セラ株式会社, 株式会社ディスコ
特開平3-108354

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