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J-GLOBAL ID：200903004824638552

ダイヤモンドの合成方法

Inventor： 坂本 幸弘 ,  三浦 毅
Applicant, Patent owner： 株式会社日本製鋼所
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991178392
Publication number (International publication number)：1993024984
Application date： Jul. 18, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、ダイヤモンドの合成方法に関し、特に、筒形状の母材の内壁を含む全面にダイヤモンド膜を形成させることを特徴とする。【構成】 本発明によるダイヤモンドの合成方法は、プラズマCVD法により、反応室(2)内に含炭素ガスを供給し、試料台(3)上に設けられた母材(4)にダイヤモンドを合成するようにしたダイヤモンドの合成方法において、前記母材(4)の形状は筒形をなし、前記母材(4)の内部空隙部(4A)内にマイクロ波(1)を導入するためのアンテナ(20)を配設し、前記母材(4)の内壁(4a)を含む全面にダイヤモンド又はダイヤモンド状炭素膜を合成させる構成である。

Claim (excerpt)：

プラズマCVD法により、反応室(2)内に含炭素ガスを供給し、試料台(3)上に設けられた母材(4)にダイヤモンドを合成するようにしたダイヤモンドの合成方法において、前記母材(4)の形状は筒形をなし、前記母材(4)の内部空隙部(4A)内にマイクロ波(1)を導入するためのアンテナ(20)を配設し、前記母材(4)の内壁(4a)を含む全面にダイヤモンド又はダイヤモンド状炭素膜を合成させることを特徴とするダイヤモンドの合成方法。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/26 ,  C23C 16/52

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ダイヤモンドの合成方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-172757   Applicant：株式会社日本製鋼所