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J-GLOBAL ID：200903004827294030

パーティクル計測装置

Inventor： 三輪 和弘 ,  吉田 稔 ,  井上 實
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995192147
Publication number (International publication number)：1997043132
Application date： Jul. 27, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ハウジングに形成された窓部より外乱光がハウジング内に進入すると、フォトダイオードはこの外乱光によっても信号を生成してしまう。よって、パーティクルにより生成される信号と、外乱光により生成される信号とが混在し、精度の高いパーティクルの計数を行うことができなくなる。【解決手段】 半導体レーザ素子13から出射したレーザ光L がハウジング12に形成された窓部18から進入するパーティクルに衝突することにより発生する散乱光M をフォトダイオード14a,14b で検出することによりパーティクルの計測を行うパーティクル計測装置において、前記フォトダイオード14a,14b に散乱光以外の外乱光が入射するのを防止する遮光部材16,17a,17bを設ける。

Claim (excerpt)：

発光装置から出射した光がハウジングに形成された窓部から進入するパーティクルに衝突することにより発生する散乱光を受光素子で検出することによりパーティクルの計測を行うパーティクル計測装置において、前記受光素子に前記散乱光以外の外乱光が入射するのを防止する遮光部材を設けたことを特徴とするパーティクル計測装置。

IPC (3)：

G01N 15/14 ,  G01J 1/04 ,  G01N 21/47

FI (3)：

G01N 15/14 P ,  G01J 1/04 Z ,  G01N 21/47 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• パーティクルセンサーヘッド
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-350511   Applicant：ウシオ電機株式会社
• 光電式煙感知器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-089279   Applicant：ホーチキ株式会社
• 散乱光式煙感知器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-221551   Applicant：ホーチキ株式会社