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J-GLOBAL ID：200903004886580771

磁気軸受制御装置

Inventor： 平 明子 ,  千野 宏之 ,  中澤 敏治
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所 ,  株式会社荏原電産
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997347131
Publication number (International publication number)：1999166537
Application date： Dec. 02, 1997
Publication date： Jun. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】 磁気軸受とコントローラとを接続するケーブルの長さが変化しても、安定に目標位置に被浮上体を位置制御することができる磁気軸受制御装置を提供する。【解決手段】 被浮上体を浮上支持する電磁石と、被浮上体の浮上位置を検出するセンサZ1,Z2と、センサの信号に基づいて被浮上体を所定位置に浮上支持するようにセンサ及び電磁石にケーブルを介してセンサ信号及び励磁電流を供給するコントローラとからなる磁気軸受制御装置において、コントローラは、センサZ1,Z2に交流信号を供給する信号源11と、該信号源11の信号を差動ドライブにより電磁石の近傍に配置された2個の直列接続されたセンサ素子Z1,Z2の両端にケーブルCを介して供給するセンサ駆動回路12と、センサ駆動回路12に接続された2個のセンサ素子Z1,Z2とブリッジ回路を構成する2個の基準抵抗Ra,Rbと、ブリッジ接続されたセンサ素子Z1,Z2の中点と基準抵抗Ra,Rbの中点との間の差動電圧を検出するセンサ回路23とを含み、ケーブルの長さによる静電容量をキャンセルする。

Claim (excerpt)：

被浮上体を浮上支持する電磁石と、前記被浮上体の浮上位置を検出するセンサと、該センサの信号に基づいて前記被浮上体を所定位置に浮上支持するように前記センサ及び前記電磁石にケーブルを介してセンサ信号及び励磁電流を供給するコントローラとからなる磁気軸受制御装置において、前記コントローラは、前記センサに交流信号を供給する信号源と、該信号源の信号を差動ドライブにより前記電磁石の近傍に配置された2個の直列接続されたセンサ素子の両端にケーブルを介して供給するセンサ駆動回路と、該センサ駆動回路に接続された前記2個のセンサ素子とブリッジ回路を構成する2個の基準抵抗と、前記ブリッジ接続されたセンサ素子の中点と前記基準抵抗の中点との間の差動電圧を検出するセンサ回路とを含み、ケーブルの長さによる静電容量をキャンセルすることを特徴とする磁気軸受制御装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 磁気軸受の制御装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-093649   Applicant：株式会社荏原製作所, 株式会社荏原電産