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J-GLOBAL ID：200903005084166674

磁気ヘッドとその製造方法

Inventor： 志村 健一 ,  馬場 和宏
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998336195
Publication number (International publication number)：1999224416
Application date： Mar. 06, 1996
Publication date： Aug. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高密度記録装置において、磁気記録媒体の記録再生に用い、耐磨耗性および耐摺動性に優れた磁気ヘッドを提供する。【解決手段】 磁気ヘッドスライダ1の空気浮上面3に、水素を含有し珪素、鉄、アルミニウム等の元素のうち少なくとも1種を含有する硬質非晶質炭素膜4を保護膜として設ける。水素の含有量は硬質非晶質炭素膜4を構成する全元素に対して10原子%以上30原子%以下、珪素、鉄、アルミニウム等元素の含有量は炭素に対して1原子%以上10原子%以下とする。保護膜として設ける硬質非晶質炭素膜4の厚さは、磁気ヘッドと磁気記録媒体が狭ギャップ化され、かつ耐摺動性が得られるよう、厚さ1nm以上30nm以下、望ましくは10nm以下とする。

Claim (excerpt)：

磁気ヘッドスライダの少なくとも空気浮上面上に保護膜を有する磁気ヘッドにおいて、該保護膜は水素および、炭素と容易に結合する元素を少なくとも1種以上含有し、かつ厚さが1nm以上30nm以下の硬質非晶質炭素から成ることを特徴とする磁気ヘッド。

IPC (3)：

G11B 5/60 ,  G11B 5/187 ,  G11B 21/21 101

FI (3)：

G11B 5/60 B ,  G11B 5/187 K ,  G11B 21/21 101 K

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 磁気ディスク装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-127108   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭63-297208
  
• 硬質炭素膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-142101   Applicant：住友電気工業株式会社
• 特開平4-276367