Pat
J-GLOBAL ID:200903005222985983
化合物半導体装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
柏谷 昭司 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998342562
Publication number (International publication number):2000174261
Application date: Dec. 02, 1998
Publication date: Jun. 23, 2000
Summary:
【要約】【課題】 化合物半導体装置に関し、化合物半導体におけるピンニング効果の解除、界面準位密度の低減、及び、オーミック抵抗の低減を簡単な製造装置構成によって行う。【解決手段】 化合物半導体層2の表面を、2原子層以上の厚さの少なくともGaSを含む層3で覆うとともに、少なくともGaSを含む層3の少なくも一部をGaN層4で覆う。
Claim (excerpt):
化合物半導体層の表面を、2原子層以上の厚さの少なくともGaSを含む層で覆うと共に、前記少なくともGaSを含む層の少なくとも一部をGaN層で覆ったことを特徴とする化合物半導体層。
IPC (6):
H01L 29/778
, H01L 21/338
, H01L 29/812
, H01L 21/331
, H01L 29/73
, H01L 29/78
FI (3):
H01L 29/80 H
, H01L 29/72
, H01L 29/78 301 B
F-Term (29):
5F003BA92
, 5F003BF06
, 5F003BM02
, 5F003BP32
, 5F040DA19
, 5F040DC03
, 5F040EC02
, 5F040EC04
, 5F040ED01
, 5F040ED02
, 5F040ED03
, 5F040FC05
, 5F040FC25
, 5F102FA01
, 5F102GB01
, 5F102GC01
, 5F102GD01
, 5F102GD10
, 5F102GJ05
, 5F102GK05
, 5F102GL04
, 5F102GL05
, 5F102GM04
, 5F102GN05
, 5F102GQ01
, 5F102GS02
, 5F102GT03
, 5F102HC01
, 5F102HC19
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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