感光性フィルム

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：若林邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998260748
Publication number (International publication number)：1999153861
Application date： Sep. 16, 1998
Publication date： Jun. 08, 1999
Summary：

【要約】【課題】常圧ラミネート法において、金属表面を有する基板表面に感光性フィルムをエアーボイドの発生数を低減して歩留まり良く積層することができる作業性に優れた感光性フィルムを提供する。【解決手段】支持フィルム(A)上に感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層(B)を形成し、さらにその上に保護フィルム(C)を張りあわせた感光性フィルムにおいて、前記保護フィルム(C)中に含まれる直径80μm以上のフィッシュアイ数が5個/m2以下であり、かつ、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層(B)の膜厚が5〜30μmであることを特徴とする感光性フィルム。

Claim (excerpt)：

支持フィルム(A)上に感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層(B)を形成し、さらにその上に保護フィルム(C)を張りあわせた感光性フィルムにおいて、前記保護フィルム(C)中に含まれる直径80μm以上のフィッシュアイ数が5個/m2以下であり、かつ、感光性樹脂組成物を含む感光性樹脂層(B)の膜厚が5〜30μmであることを特徴とする感光性フィルム。

IPC (4)：

G03F 7/004 512 , C23F 1/00 102 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028

FI (4)：

G03F 7/004 512 , C23F 1/00 102 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

感光性エレメント、その積層方法及びレジスト形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-172478 Applicant：日立化成工業株式会社
特開平4-195049
特開昭59-202457

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