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J-GLOBAL ID：200903005251951141

電子顕微鏡法のためのイオンビーム準備装置

Inventor：
グリューネバルト,ボンフガンク

About グリューネバルト,ボンフガンク


Applicant, Patent owner：
バル-テク・アクツィエンゲゼルシャフト

About バル-テク・アクツィエンゲゼルシャフト


Agent (1)： 深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1996532892
Publication number (International publication number)：1999504464
Application date： Apr. 22, 1996
Publication date： Apr. 20, 1999
Summary：
【要約】この発明は、走査型電子顕微鏡(3)の助けを得て準備プロセスを観察する能力があり、そこで直接試料(4)に対して作動する、電子顕微鏡のためのイオンビーム準備装置に関する。前記装置には、多軸試料ベンチと、少なくとも1つのイオン源(1、2)と、電子検出器(7、9、8)を備え二次電子(SE)、後方散乱電子(RE(BSE))、および透過電子(TE)を結像させるための走査型電子顕微鏡(3)と、分離する試料のための放電器としての電子源と、光学顕微鏡(5)とが装着される。その場でエッチングプロセスを観察する能力は、たとえば試料の厚さ減少の程度など、エッチングの段階を高解像度において正確に監視することを可能にし、制御装置(19)の助けによって、正確な指示に従って薄膜化プロセスを自動的に終了することが可能である。
Claim (excerpt)：
電子顕微鏡法に用いられる試験片(4)を加工するためのイオンビーム準備装置であって、真空チャンバ(10)と、試験片ホルダ(6)内で希ガスイオン、特にアルゴンイオンを用いて試験片(4)を衝撃するための少なくとも1つのイオン源(1、2)とを含み、予め規定された角度において試験片(4)に対する静止イオンビーム衝突を可能にする手段が設けられ、前記試験片ホルダ(6)は回転かつ傾斜することができ、前記真空チャンバ(10)はSEM支柱(3)を特徴とし、SEM支柱(3)の軸(14)は試験片(4)に向けられており、試験片表面の結像のための手段を備えた、少なくとも第1の走査型電子顕微鏡(SEM)検出器(7)と、試験片を透過する電子を記録することによるTSEMモードにおける結像のための手段を備えた第2のSEM検出器(8)とが設けられる、イオンビーム準備装置。
IPC (4)：
H01J 37/305 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/32 ,  H01J 37/28
FI (5)：
H01J 37/305 A ,  G01N 1/32 B ,  H01J 37/28 B ,  H01J 37/28 C ,  G01N 1/28 G
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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