配向膜評価装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三好秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994219087
Publication number (International publication number)：1995151640
Application date： Sep. 13, 1994
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】液晶配向膜の配向能を、実際の工程ライン中でも高感度、高精度で定量的に測定することができる配向膜評価装置を提供する。【構成】赤外光を射出する射出手段と、この射出手段から射出された赤外光を配向膜の配向方向と平行な方向及び直交する方向の直線偏光を有する赤外光として当該配向膜に照射する照射手段と、この照射手段からの赤外光を当該配向膜で反射させたときの反射赤外光を検出する検出手段と、この検出手段で検出された赤外光から配向膜の各々の偏光方向での吸光度の差を求め当該配向膜の配向能を評価する評価手段とを備えて構成される。

Claim (excerpt)：

赤外光を放出する放出手段と、この放出手段から放出された赤外光を偏光にする偏光手段と、前記偏光手段で得られる偏光を、所定の基板上に形成された配向膜に配向膜面と平行な成分を有し、かつ2種以上の異なる振動方向となるように前記赤外光の偏光を前記配向膜面に照射する照射手段と、前記基板上で反射された反射赤外光の吸光度を検出する検出手段と、この検出手段で検出された赤外光から配向膜の各々の偏光での吸光度の差を求め前記配向膜の配向能を評価する評価手段とを有することを特徴とする配向膜評価装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平4-095845
特開平1-035419
特開昭61-250543

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